处理步骤从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。然后高压通过反渗透膜。一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程电阻率可达到18兆。相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。
工业蒸馏水供应
处理步骤从自来水到去离子水一般要经过几步处理 ：先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。然后高压通过反渗透膜。一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程电阻率可达到18兆。相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。
实验室蒸馏水应在单独的制水间制备。用于有严格要求的分析试验，包括对颗粒有要求的试验。如液相色谱分析用水。不含有溶解杂质或胶态质有机物。它可用二级水经进一步处理制得。例如可将二级水经过再蒸馏、离子交换混合床、0.2μm滤膜过滤等方法处理，或用石英蒸馏装置作进一步蒸馏制得。用于制备标准水样或超痕量物质的分析。二级水：二级水用于无机衡量分析等试验，如原子吸收光谱分析用水。
去离子水，应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子，但水中仍然存在可溶性的有机物，可以污染离子交换柱从而降低其功效，去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。去离子水主要用途：实验室、化验室用水，一般实验室的常规试验、配置常备溶液、清洗玻璃器皿等。去离子水中简单地说就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。去离子水中的离子数可以被人为的控制，物理、化学及病理等指标均得到良好的控制。纯水就是去掉了水中的全部电解质与非电解质，也可以说是去掉了水中的全部非水物质。
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