双工位氦检漏系统构成
（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。
（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。
（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。
（4）耐压测试单元：通过向工件内充注
氦质谱真空箱检漏系统
双工位氦检漏系统构成
（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。
（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。
（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。
（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。
（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。
钢桶真空箱检测系统操作方法及功能说明
1）由于钢桶不能承受较高压力，因此直接采取向桶内充入一定量氦气的方法；
（2）充入氦气的钢桶随流水线进入位置，再由传送机构送至待检工位；
（3）检测结果分辨明确，合格件/不合格件准确流向相应位置；
（4）工艺要求设定漏率、检测时间、检测压力、报警值等不影响设备运行的操作参数（在人机界面上通过密码设定）；
（5）具有可靠的连锁、保护功能、保护装置动作时装置全部停止并报警提示；
（6）具有故障统计及提示功能；
（7）具有自动清氦功能，检漏精度和重复性可靠；
（8）设备具有密码保护功能，防止无关人员修改参数或手动操作。
自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践
根据目前氦检系统的种种不足，我们优化了氦检设备布局，改善工件流水线的物流走向，把真空箱改为隧道式结构。设备主要由真空箱检漏系统；充高压气体、抽空、充氦三合一装置；空调两器输送线；回收系统；电器控制系统等组成，具体构成如下：
真空箱检漏系统主要由检漏仪、真空箱体、真空泵组、真空测量装置、真空阀门、气动开门装置、安全光栅、不锈钢管道和机架等组成。
充高压气体、抽空、充氦三合一装置和回收系统主要由电磁阀、真空泵、储气罐、压缩机、压力和真空测量装置以及管道等组成，能对工件进行大漏检测试验，并进行充氦回收等处理。
空调两器输送线主要由铝型材、三倍速链条、驱动电机、升降机、辊筒、工装板等组成。
真空系统不严密的主要原因一般是真空系统的泄漏造成的。
真空系统泄漏主要是由于系统内有管道法兰或仪表接口松动，密封垫破损或焊口裂缝造成空气被吸入产生的。而漏入真空系统的空气一般都会通过真空泵抽出，排到大气中。氦质谱检漏仪真空查漏法，正是利用了这一点，在我们怀疑的泄漏点处喷氦气，在另一边，也就是真空泵的排气口处安排人员将氦质谱检漏仪的吸架设好，“守株待兔”。如果该处怀疑的泄漏点真的泄漏，那喷在漏点处的氦气就会被吸入系统，进入凝汽器并被真空泵抽出，通过真空泵的出口排出来，架设在真空泵出口的吸就会捕获这些氦气，检漏仪就会识别检测出氦气分子量。
一般来说漏点越大，获的氦气分子量就越多，被检漏仪检测到的氦气分子也越多，这样就能准确锁定漏点的位置和大小。
氦质谱检漏仪真空查漏人员一般都是对系统非常熟悉的人员，因此在火电厂组织真空时都优选选择熟悉系统的运行人员。
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