真空镀膜设备背压检漏法
背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法，真空镀膜设备中多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏技术中。
其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步骤。
(1)充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放一定时间，如被检件有漏孔，示漏气体就可以通过漏孔进入被检件的内部，并且将随浸泡时间的增加和
大型磁控溅射镀膜机
真空镀膜设备背压检漏法
背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法，真空镀膜设备中多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏技术中。
其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步骤。
(1)充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放一定时间，如被检件有漏孔，示漏气体就可以通过漏孔进入被检件的内部，并且将随浸泡时间的增加和充气压力的升高，被检件内部示漏气体的分压力也必然会逐渐升高。
(2)净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部或在其内部喷吹被检件。
如不具备气源时也可使被检件静置，以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。
在净化过程中，因为有一部分气体必然会从被检件内部经漏孔流失，从而导致被检件内部示漏气体的分压力逐渐下降，而且净化时间越长，示漏气体的分压降就越大。
(3)检漏过程则是将净化后的被检件放入真空室内，将检漏仪与真空室相连接后进行检漏。
抽真空后由于压差作用，示漏气体即可通过漏孔从被检件内部流出，然后再经过真空室进入检漏仪，按检漏仪的输出指示判定漏孔的存在及其漏率的大小。
如何保养镀膜机才能寿命更长？
真空镀膜机就是：蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且终沉积在基片表面，经历成膜过程，终形成薄膜。
那么在使用的同时，我们怎么去保养他，爱护它，从而让他寿命更长呢？
一般扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，真空镀膜设备便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。
方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。
方法是：用NaOH饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（注意人体皮肤不可以直接接触NaOH溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。
当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。
方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。
真空镀膜设备真空泵的选择
正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对Ar有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，能达到1mmHg较好。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
如何减少真空镀膜设备中的灰尘？
使用真空镀膜设备进行镀膜时，镀膜表面的一层灰尘会影响真空镀膜的整体效果，那么该如何减少灰尘呢？
1、使用的源材料要符合必要的纯度要求；
2、样品取出后放置环境要注意清洁的问题；
3、镀膜一段时间后，真空室内壁必须要清洁处理；
4、清洗衬底材料，必须要做到严格合乎工艺要求；
5、工作人员有专门的服装，操作要戴手套、脚套等；
6、适当的增加环境的湿度，有利于降低周围环境的悬浮固体颗粒物；
7、技术上明确允许的颗粒尺寸和单位面积颗粒物的数量的上限大致是多少；
8、室内空气流动性低、地面干净，如果是水泥地，需要覆盖处理。墙壁、屋顶不能使用一般的灰质涂料粉刷。
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