扫描电子显微镜的优点介绍扫描电子显微镜的优点:
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞
①放大倍数较高,20万~20万倍连续可调;
②具有大景深、大视野、立体影像,可直接观察各种样品的凹凸不平表面,精细结构;
③样品制备简单。
目前的扫描电子显微镜配备了X射线能谱仪装置,既可
FIB电镜制样机构
扫描电子显微镜的优点介绍
扫描电子显微镜的优点:
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞
①放大倍数较高,20万~20万倍连续可调;
②具有大景深、大视野、立体影像,可直接观察各种样品的凹凸不平表面,精细结构;
③样品制备简单。
目前的扫描电子显微镜配备了X射线能谱仪装置,既可以观察微观结构,又可以分析微观区域的成分。因此,它是当今非常有用的科研仪器。

使用台式扫描电镜拍摄低倍图像方法
1、启动并放入样品,将真空抽至0.01并保持至开按钮常亮后,然后点击开按钮。
2、按照需要设定电压值。并将"光斑直径"调整至"粗"或者"中",勾选"自适应"按钮,调整"亮度""对比度",至出现较为明亮的图像。后粗调"聚焦"条,至显示较为清晰的图像,然后将样品台移动到想要拍照的样品上。
3、低倍数下有了较为清晰图像后。将倍数放大至大于要拍摄倍数后(比如要拍摄1000倍,放大至5000或10000),将"平均"点数切换至5,然后将光标放至"聚焦微调"圆钮上,缓慢滚动滚轮,调整至图像清晰位置。然后切换至"镜组配置",依次调整四个"消像散"条,至图像清晰为止。
用台式扫描电镜拍几千倍的图可根据样品信号强度选择光斑直径中或者细来拍照。

未镀膜的绝缘样品几种方法
未镀膜的绝缘样品几种方法:
1)、低电压操作--在反射率和二次电子产额等于1之间的电压下操作,对于钨灯丝扫描电镜,电子束亮度相对高电压会降低几十倍,而且电子光学系统的像差亦会变大,这需要考虑扫描电镜的潜能。
而对于场发射扫描电镜来说,在低加速电压下,也可以获得好的分辨率;在样品表面增加离子,中和表面累积电荷,可采用低真空样品室,获得等离子气体;含水样品可以采用冷冻台,直接观察,有赖于样品中的水分有足够的电导率。
2)、成分像或者原子序数反差:
当我们需要研究弱反差机制(两个相之间的平均原子序数相差很小)的时候,需消除样品形貌的反差影响。对样品进行抛光。
3)、WDS化学元素显微定量分析:需要非常光滑的表面,机械抛光,电解抛光,化学处理等等。

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