质谱仪真空泵的保养方法，在运转过程中，质谱真空泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害。质谱仪的日常维护，色谱柱，在使用色谱柱尤其是使用极性色谱柱时要除去载气中的氧，要注意在更换气瓶时不要混入空气，也可以在气体流路中安装氦气净化器。质谱仪的日常维护，清洗离子源，离子源污染会造成重现性不良，应及时清洗离子源。进行
气相色谱质谱仪
质谱仪真空泵的保养方法，在运转过程中，质谱真空泵和油会受到化学品的污染。所以，应确认泵是否清洗干净，并采取足够的措施防止这些有害物质对人员的伤害。质谱仪的日常维护，色谱柱，在使用色谱柱尤其是使用极性色谱柱时要除去载气中的氧，要注意在更换气瓶时不要混入空气，也可以在气体流路中安装氦气净化器。质谱仪的日常维护，清洗离子源，离子源污染会造成重现性不良，应及时清洗离子源。进行离子源操作时需要戴清洁的手套。
无机质谱仪主要用于无机元素微量分析和同位素分析等方面。分为火花源质谱仪、离子探针质谱仪、激光探针质谱仪、辉光放电质谱仪、电感耦合等离子体质谱仪。质量分析器：在离子源中产生的不同动能的正离子，在中加速，增加能量后在质量分析器将带电离子根据其质荷比加以分离。质谱仪对工作环境有较高要求，所以室内必须有空调，并保持室内通风。质谱仪的真空度不能过低。
由于化合物有着像指纹一样的质谱，质谱仪在工业生产中也得到广泛应用。有机质谱仪的基本工作原理是：利用一种具有分离技术的仪器，作为质谱仪的"进样器"，将有机混合物分离成纯组分进入质谱仪，充分发挥质谱仪的分析特长，为每个组分提供分子量和分子结构信息。质谱仪能用高能电子流等轰击样品分子，使该分子失去电子变为带正电荷的分子离子和碎片离子。这些不同离子具有不同的质量，质量不同的离子在磁场的作用下到达检测器的时间不同，其结果为质谱图。
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