电子束蒸发镀膜机产品介绍
想要了解更多电子束产品的相关内容，请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。
产品配置：
★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）
★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体：高真空系统。
★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋转，转速可调
★加热：
分子束外延设备厂家
电子束蒸发镀膜机产品介绍
想要了解更多电子束产品的相关内容，请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。
产品配置：
★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）
★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体：高真空系统。
★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋转，转速可调
★加热：常规加热
★电子枪：E型，带XY偏转扫描
★电子枪坩埚：6穴，17cc
★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能：可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪
★操作模式：全自动+半自动控制
电子束蒸发镀膜机的用途
电子束蒸发沉积镀膜设备，具有有机材料沉积和金属材料沉积成膜功能。电子束原理介绍沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售电子束产品，我们为您分析该产品的以下信息。它是在高真空条件下，通过加热材料的方法，在衬底上沉积各种化合物、混合物单层或多层膜，在衬底上沉积各种金属或合金电极并形成器件。可用于镀半导体、金属膜，氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积.
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电子束蒸发镀膜机的系统装置介绍
1、系统自动监控和保护功能强，包括断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护等。
2、分子筛吸附装置，避免机械泵返油造成膜层污染，提高薄膜纯净度。
3、膜厚监测及控制系统，可在线监测及控制膜层厚度，膜厚仪与基片挡板联动，形成闭环控制。采用晶振膜厚仪
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