真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法
制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。以上内容由艾明坷为您提供，今天我们来分享的是薄膜均匀性概念的相关内容，希望对您有所帮助。真空状态需要抽气系统来控制的，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就可以控制好抽气的均匀性，如果抽气不均匀，在真空室内的压强就不能均匀了，压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制，太短
真空镀膜系统厂家
真空镀膜机镀制薄膜不均匀的解决方法
制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。以上内容由艾明坷为您提供，今天我们来分享的是薄膜均匀性概念的相关内容，希望对您有所帮助。真空状态需要抽气系统来控制的，每个抽气口都要同时开动并力度一致，这样就可以控制好抽气的均匀性，如果抽气不均匀，在真空室内的压强就不能均匀了，压强对离子的运动是存在一定的影响的。另外抽气的时间也要控制，太短会造成真空度不够，但太长又浪费资源，不过有真空计的存在，要控制好还是不成问题的。
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真空镀膜系统
工艺气体输入系统
工艺气体，如气(Ar)、气(Kr)、氮气(N2)、(C2H2)、(CH4)、氢气(H2)、氧气(O2)等，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是，管路简捷、明快，维修或更换气瓶容易。排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况，这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是，减少气瓶占用量，统一规划、统一布局。缺点是，由于接头增多，使漏气机会增加。而且，各涂层机之间会互相干扰，一台涂层机的管路漏气，有可能会影响到其他涂层机的产量。此外，更换气瓶时，必须保证所有机台都处于非用气状态。
真空镀膜工艺中的真空系统也并非单一的真空泵，而是为了获得镀膜工艺中所必须的真空度，就需要将不同的泵进行组合使用。2、极限真空度高，可达7×10-5Pa，可保证更高的镀膜纯净度，提高镀膜质量。一般而言，该组合方式为机械泵、油扩散泵、无油泵组（分子泵、冷凝泵、钛扩散吸附泵）、管道阀门冷阱、真空室、冷却系统和真空测量。真空泵油雾过滤器主要用在旋片式机械泵上面，降低排气对空气产生的污染，在机械泵前也有必要安装空滤，防止空气中的杂质与粉尘进入泵内污染泵油或者造成零部件的磨损。
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