成膜控制系统能采用不同方式,比如固定镀制时间、目测、监控以及水晶震荡监控等。镀膜方式也分多种工艺,常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。磁控溅射方式镀制的膜层附着力强,膜层的纯度高,可以同时溅射多种不同成分的材料,离子蒸发镀膜可以提高膜层的致密性和结合力及均匀性。镀膜加工在影响产量的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)。
真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘,
等离子化学气相沉积
成膜控制系统能采用不同方式,比如固定镀制时间、目测、监控以及水晶震荡监控等。镀膜方式也分多种工艺,常用的有离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。磁控溅射方式镀制的膜层附着力强,膜层的纯度高,可以同时溅射多种不同成分的材料,离子蒸发镀膜可以提高膜层的致密性和结合力及均匀性。镀膜加工在影响产量的五大因素〔操作者、设备、材料、工艺方法及生产环境)。
真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘,设置清洁度高的工 作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。
清洁处理后的清洁表面不能储存在大气环境中,但应储存在封闭的容器或清洁柜中,以减少灰尘污染。通过将玻璃基板储存在新氧化的铝容器中,可以很大限度地减少碳氢化合物蒸汽的吸附。

真空镀膜应用是真空应用中的一个大分支,在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及表面处理技术等众多方面有着十分广泛的应用。随着经济的发展和生活水平的提高,人们喜欢将手表壳、表带、服饰、灯饰、眼镜架、室内外装饰件、五金箱包、手机壳、手机视屏、卫生洁具、食品包装等装饰品精饰得五彩缤纷。真空镀膜技术中经常使用的方法主要有:蒸发镀膜(包括电弧蒸发、电子蒸发、电阻丝蒸发等技术)、溅射镀膜(包 括直流磁控溅射、中频磁控溅射、射频溅射等技术),这些方法统称物理气相沉积。
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