洁净室具有风量大，空调系统风压高，运行时间长等特点，故其能耗比一般建筑为大。因此，在设计中应考虑节能措施。一、能耗特点国外对普通办公楼与一般洁净厂房的风量作比较，其大致数值见表27.10-1。普通民用空调（如办公楼、旅馆）单位建筑面积的冷负荷在100~130w，而半导体厂房的冷负荷可能高达500~1000w/㎡。从符合因数来看：微电子生产车间的空调能耗中工艺而设备负荷、输送负荷以及新风负荷主体，一
手术室洁净工程定做
洁净室具有风量大，空调系统风压高，运行时间长等特点，故其能耗比一般建筑为大。因此，在设计中应考虑节能措施。一、能耗特点国外对普通办公楼与一般洁净厂房的风量作比较，其大致数值见表27.10-1。普通民用空调（如办公楼、旅馆）单位建筑面积的冷负荷在100~130w，而半导体厂房的冷负荷可能高达500~1000w/㎡。从符合因数来看：微电子生产车间的空调能耗中工艺而设备负荷、输送负荷以及新风负荷主体，一般均占90％以上，图27.10-1为某芯片（φ300mm）生产厂房冷负荷的成分组成。表27.10-2还给出了不同级别洁净室的负荷组成供参考。另一个特点是：从全年来看所有季节均存在冷却负荷，即其供冷季节长，这也是从整体上讲其能耗大的原因。
1、集中设置，该类机房在厂区内的位置布置主要针对生产工艺布置的特点和要求，以及供、回风管道的长度。当厂房面积不大、系统简单、管线交叉不多时,可将送回风干管布置在上部技术夹层;当厂房的面积较大、较长,或者系统划分较多时,宜沿厂房长边布置机房,每个系统可以直接与所服务的洁净室对应排列;当采用顶部技术夹层时,送回风干管走向与屋顶承重构件方向相平行,可以究分利用空间。有的洁净室工程,将机房设置在技术夹层的顶部,不仅缩短了风管长度而且节省了用地。
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即：新风三级过滤(粗、中、亚过滤)；中级过滤；未端过滤。可使气流组织更为科学规范(能提升表冷器，中效过滤器和过滤器约1O倍的使用寿命)
以使实验室的基础设施达到符合实验要求的标准，实验才得以安全进行。实验室净化工程是除了对实验样品的安全起到保护的作用之外，也是为实验成功与实验人员的安全保驾护航的重大措施之一。
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