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氦气在在半导体中的检漏作用
为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化,就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞,所以在元器件封装之后,就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件
槽车氦检漏服务
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司
氦气在在半导体中的检漏作用
为了防止半导体器件、集成电路等元器件的表面因玷污水汽等杂质而导致性能退化,就必须采用管壳来密封。但是在管壳的封接处或者引线接头处往往会因为各种原因而产生一些肉眼难以发现的小洞,所以在元器件封装之后,就需要采取某些方法来检测这些小洞的存在与否。 氦气检漏就是采用氦气来检查电子元器件封装管壳上的小漏洞。因为氦原子的尺寸很小,容易穿过小洞而进入到管壳内部,所以这种检测方法能够检测出尺寸很小的小洞(即能够检测出漏气速率约为1011~1012cm3/sec的小洞),灵敏度可与性检漏方法匹敌,但要比性检漏方法简便。在压力的作用下,如果这些元件存在漏点,必然会有氦气通过这些小孔进入到元件内部。
氦气检漏试验的方法:首先把封装好的元器件放入充满氦气的容器中,并加压,让氦气通过小洞而进入管壳中;然后取出,并用压缩空气吹去管壳表面的残留氦气;接着采用质谱仪来检测管壳外表所漏出的氦气。
氦质谱检漏
近年来,随着科学技术的飞速发展,氦质谱法检漏及其应用技术不断发展和完善。 世界各地的制造商推出了各种类型的氦质谱检漏仪,广泛应用于航空航天、电力电子、汽车、制冷和等行业。 综观新型氦质谱检漏仪的性能特点,氦质谱检漏仪正朝着高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等方向发展,这些特点满足了检漏应用的需要,推动了氦质谱法检漏技术的发展。试漏压力与运行过程中受到的较大压力相同许多密封件是在一定的压力阈值下出现泄漏。
如何选择正确的气体检测解决方案
确认所要检测的气体种类和浓度范围
每一个生产部门所遇到的气体种类都是不同的。在选择气体检测仪时要考虑到所有可能发生的情况。如果和其它毒性较小的烷烃类居多,选择LEL检测仪无疑是为合适的。这不仅是因为LEL检测仪原理简单,应用较广,同时它还具有维修、校准方便的特点。科创真空提供氦检漏服务,如果您想了解更多产品信息您可拨打图片上的电话进行咨询。当然在一些人员罕至、维护不方便的区域,或者可燃气泄漏(比如罐体内等密闭空间),采用红外可燃气体检测器不失为一种较好的选择。
氦检漏服务
在填充检漏气体之前,有必要测试是否有大的泄漏。对大泄漏孔的一个简单测试方法是在短时间内抽空样品并观察抽空压力。如果样品能够保持抽空压力,则表明没有大的泄漏孔,可以填充泄漏检测气体。
如果气密检漏仪在运行过程中没有在高压下进行泄漏测试,那么氦气检漏设备就不能检测到一些泄漏孔。因此,在检漏过程中使用较高的测试压力可以有效地检测实际操作中没有出现的泄漏孔。
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