NR77-15000P
9,去胶:湿法去胶,用溶剂、用NONG硫酸。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。负胶,98%H2SO4+H2O2+胶=CO+CO2+H2O,正胶:BIN酮,干法去胶(ash)氧气加热去胶O2+胶=CO+CO2+H2O,等离子去胶Oxygenplasma ashing,高频电场O2---电离O- + O+
RD6光刻胶价格
NR77-15000P
9,去胶:湿法去胶,用溶剂、用NONG硫酸。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、SOS中的蓝宝石。负胶,98%H2SO4+H2O2+胶=CO+CO2+H2O,正胶:BIN酮,干法去胶(ash)氧气加热去胶O2+胶=CO+CO2+H2O,等离子去胶Oxygenplasma ashing,高频电场O2---电离O- + O+, O+活性基与胶反应CO2
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