氦质谱检漏仪的功能特点:
1、支持正压检漏,负压检漏。
2、自动跟踪本底,提供可靠的测量结果。
3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程响应。
4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保清氦。
5、支持氮气破空,不受环境氦气干扰,降低本底。
6、机器的性能支持长时间在线测试。
7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。
8、配有检漏
生产锂电池氦设备厂家
氦质谱检漏仪的功能特点:
1、支持正压检漏,负压检漏。
2、自动跟踪本底,提供可靠的测量结果。
3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程响应。
4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保清氦。
5、支持氮气破空,不受环境氦气干扰,降低本底。
6、机器的性能支持长时间在线测试。
7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。
8、配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤。
9、双铱丝离子源,有效的系统设计,防大气冲击。
10、支持定制检漏工作台,更加便捷使用。
氦质谱检漏仪的结构和工作原理
氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计,其基本原理是根据离子在磁场中运动时,不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空,当真空度P1 优于200 Pa 时,打开入口阀1、2,关闭抽空阀,氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来,此时检漏仪的小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空,当P1降至20 Pa 时,入口阀2 关闭,入口阀3 打开,分子泵的高抽速用于抽空试件,检漏仪的反应时间缩短,此时检漏仪的小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s[1]。
氦质谱检漏仪在科技时代的市场应用和发展
科技信息化不断更新迭代的市场,氦质谱检漏仪的应用技术也在不断发展和完善。一方面过去的氦质谱检漏仪不能满足现阶段的一个需求,而且对检漏仪提出新要求的情况下,检漏仪设备使更新,另一方面每个行业的不足都在进步的过程,缺陷与不足相互补充,相互促进。而现在的氦质谱检漏仪早已告别了四五十年代的初期情形,在性能和领域上都有新的突破。
氢质谱检漏仪系统的氨质谱检漏仪关键部件均为进口,性能。不仅灵敏度高,而且操作方便,能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气 ,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
氦质谱检漏仪特点:
1.检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;
2.检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;
3.不会受到主观因素判断的影响;
4.检测的数据;
5.自动生成数据保存,可追溯数据来源。
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