MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面，已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件，在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器，为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域，MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中，可以实时检测体
微电极镀膜
MEMS集成装置尤其是在生物传感器方面，已经成为心率、血压等涉及到身体健康生物信号监测的重要器件，在严苛的环境中膜层防护性要求能具有较好的稳定性是关键。涂覆了派瑞林的工业级传感器，为手术机器人功能提升与柔性电子发展提供重要的技术支撑。
除了健康领域，MEMS柔性传感系统可应用的领域还包括运动行业、可穿戴机械设备、人造皮肤等等。如将柔性压力传感器内置在鞋子中，可以实时检测体重、发力姿势、身体平衡性等；可穿戴设备中的柔性传感器可以感知人的动作和用力情况，协助佩戴者提起重物、走动等；集成了柔性触力传感器的人造皮肤，可以用于义肢上，感知佩戴者的动作意图并协助其完成想要的动作。作为纳米涂层材料之一，派瑞林镀膜技术更好的提升了MEMS产品的表面防护性能。
派瑞林F粉是一种性能优异的涂层材料，由于其优异的性能和的真空气相沉积工艺使其广泛应用于许多领域。作为保形防护材料在许多方面也优于其他常见涂层材料；派瑞林 F粉已在航天航空、电子、半导体等诸多高科技领域得到了广泛应用，未来，随着工艺、技术和产量的不断完善，派瑞林F粉在国内的应用规模将增长。
派瑞林F粉别名：Parylene F粉、八氟对二二聚体，该材料为含氟的高分子涂层材料。膜层具有高通透性、厚度均匀、耐酸碱、介电特性好、光电和器械等领域都有着广泛的应用。
LED产品及其主要元器件的使用环境对其性能和可靠性影响很大,环境中的潮气、粉尘、酸雨都可能使其氧化侵蚀。潮气渗透到LED芯片内部,受热膨胀形成水蒸气产生压力可能导致LED封装开裂,并使芯片内部金属氧化,导致LED元器件失效。根据LED电子产品表面结构特性和使用特点，目前菱威科技的派瑞林（Parylene）镀膜技术较适合LED产品的表面防护应用。
表面科学是在固体物理等许多科学基础上发展起来的新科学，其研究对象是各种各样的表面。真空镀膜技术为制造各种各样的清洁表面提供了手段。特别是20世纪70年代在真空镀膜基础上发展起来的分子束外延技术，用他不值可以特备可控制的超薄薄膜、原子级平整度的表面、上百层的叠加膜，而且还可以控制薄膜的成分和亚比。这些薄膜的制备均为科学的研究和发展提供了充分的条件。
真空搜膜技术在其他科学领域中的应用亦很广泛。例如，电子显微镜的标本必须经过真空镀膜处理才能观察﹔激光器需要镀上精密控制的光学膜层才能使用;太阳能利用也与真空镀膜技术息息相关。
（作者： 来源：）
