确定系统的报警点
根据本节2）所得等效氦气漏率和3)所得系统分流因子，即可确定工件的报警点：
Q= QHe/Q3。
氦检漏系统校准
氦检漏系统在使用一段时间后，检漏仪可能由于环境等其他因素的影响，系统检测漏率会出现漂移。因此，需要定期对系统校准。系统校准分为内部校准和外部校准。
1）内部校准
内部校准即是对检漏仪自身的校准，执行内部校准需要准备一个漏率已知的
真空箱氦检
确定系统的报警点
根据本节2）所得等效氦气漏率和3)所得系统分流因子，即可确定工件的报警点：
Q= QHe/Q3。
氦检漏系统校准
氦检漏系统在使用一段时间后，检漏仪可能由于环境等其他因素的影响，系统检测漏率会出现漂移。因此，需要定期对系统校准。系统校准分为内部校准和外部校准。
1）内部校准
内部校准即是对检漏仪自身的校准，执行内部校准需要准备一个漏率已知的标准漏孔对检漏仪进行校准。由于每款检漏仪校准方法各不相同，限于篇幅，本文不作详述。值得一提的是，一些检漏仪会内置标准漏孔。内置标准漏孔在使用一段时间后，漏率会衰减。因此需要找专门计量单位对内置漏孔进行校准，通常漏孔每年校准一次。
2）外部校准
外部校准即是对整个检漏系统校准，系统使用一段时间后，系统的分流因子可能会发生改变，因此需要定期使用标准漏孔来校准系统，以确定分流比是否已经改变。如果改变需要适当调整系统的报警点。
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。
背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。
背压法的检漏主要应用于各种电子元器件产品检漏
钢桶真空箱检测系统介绍
1、特点
（1）干式检漏
（2）传送机构，提升机构，不合格件分拣机构的可靠性
（3）检测结果准确，
（4）传送机构确保工件自动运送至待检工位并自动定位
（5）特殊的真空箱底盘设计确保钢桶在检测过程中不产生形变
（6）特殊的真空箱顶部压紧机构确保工件在检测过程中不产生形变及压痕
（7）真空系统设计可靠，抽速快，低本底，氦质谱检测时间充足
（8）检测结束后，工件自动移出待检工位
2、钢桶检测的关键技术参数
（1）工件外形尺寸
（2）真空箱内腔尺寸
（3）检测工位数
（4）检测节拍
（5）检测精度
（6）数据存储
（作者： 来源：）
