扫描电子显微镜的优点介绍扫描电子显微镜的优点:
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞
①放大倍数较高,20万~20万倍连续可调;
②具有大景深、大视野、立体影像,可直接观察各种样品的凹凸不平表面,精细结构;
③样品制备简单。
目前的扫描电子显微镜配备了X射线能谱仪装置,既可
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扫描电子显微镜的优点介绍
扫描电子显微镜的优点:
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞
①放大倍数较高,20万~20万倍连续可调;
②具有大景深、大视野、立体影像,可直接观察各种样品的凹凸不平表面,精细结构;
③样品制备简单。
目前的扫描电子显微镜配备了X射线能谱仪装置,既可以观察微观结构,又可以分析微观区域的成分。因此,它是当今非常有用的科研仪器。

热发射电子需要电磁透镜才能形成光束
电磁透镜
热发射电子需要电磁透镜才能形成光束,因此电磁透镜对于使用热发射电子的SEM来说是的。通常组装两个组:
会聚透镜:顾名思义,会聚透镜使用会聚电子束,组装在真空柱中,位于电子下方。通常不止一个,并且有一组会聚光圈与之匹配。 但是,会聚透镜仅用于会聚电子束,与成像焦点无关。
物镜:物镜是真空柱底部的电磁透镜,负责将电子束的焦点会聚到样品表面。

扫描电镜SEM
扫描电镜SEM:电子束到达样品,激发样品中的二次电子,二次电子被探测器接收,通过信号处理并调制显示器上一个像素发光,由于电子束斑直径是纳米级别,而显示器的像素是100微米以上,这个100微米以上像素所发出的光,就代表样品上被电子束激发的区域所发出的光。实现样品上这个物点的放大。如果让电子束在样品的一定区域做光栅扫描,并且从几何排列上一一对应调制显示器的像素的亮度,便实现这个样品区域的放大成像。具体图像反差形成机制不讲。由于扫描电镜所观察的样品表面很粗糙,一般要求较大工作距离,这就要求扫描电镜物镜的焦距比较长,相应的相差系数较大,造成小束斑尺寸下的亮度限制,系统的空间分辨率一般比透射电镜低得多1-3纳米。但因为物镜焦距较长,图像景深比透射电镜高的多,主要用于样品表面形貌的观察,无法从表面揭示内部结构,除非破坏样品,例如聚焦离子束电子束扫描电镜FIB-SEM,可以层层观察内部结构。

台式扫描电镜连续观察
台式扫描电镜对于从高功率到低功率的连续观测,放大倍数的变化范围非常大,并且不经常需要焦点扫描电镜放大倍数范围广(连续可调5-20万倍),一次聚焦后可连续观察从高到低、从低到高,无需再聚焦,特别便于事故分析。
台式扫描电镜观察生物试样
因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。扫描电镜同其他方式的电子显微镜比较,由于用于观察的电子探针电流小,电子探针的束斑尺寸小(通常为5nm到几十纳米),电子探针的能量也小(加速电压可以小到2KV)此外,它不会在固定处照射样品,而是通过光栅扫描照射样品因此,对一些生物样品进行观察是非常重要的,因为样品的损伤和污染程度都很小。

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