关于真空检漏
漏孔的气流特性
气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。设环境温度T=296K，入口压力p2=1.01×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态
检漏方法的分类
检漏方法很多，根据被检件所处
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关于真空检漏
漏孔的气流特性
气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。设环境温度T=296K，入口压力p2=1.01×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态
检漏方法的分类
检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。
充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。
真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。
其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。背压法就是其中主要方法之一。
所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。
真空设备使用过程中的注意事项
在真空设备使用运行阶段，时常出现设备气密性下降，总体漏率上升的情况，这是影响真空设备正证常工作的主要原因。造成这种现象的原因包括：机械振动造成连接部位松动；经常拆卸部位的密封圈可能损坏或安装不正确；由于冷、热冲击而发生变形和疲劳破坏；某些部件或材料因受工作介质的腐蚀而破坏；某些原本被水、油或其他脏物堵塞的漏孔重新释通；以及应力集中而造成裂纹等。
正确使用真空设备，应该将检漏工作纳入真空设备日常维护、管理规范之中，例如定期做静态升压检测实验。操作人员发现设备气密性下降应及时解决，根据其设备使用情况和故障现象来分析泄漏原因，并采取适当的检漏手段，检出漏孔位置，及时修补。不要等到设备出现多种、多处泄漏，已经无法正常工作时再去检漏维修。
另外，平时准备充足的密封备件，定期（而不是出现问题后）更换易损件，也是做好真空检漏工作、保证设备正常运行的主要措施。
真空系统的可允许漏气率
真空系统的可允许漏气率应视其操作压力范围及应用的需要而定，以下所列为以真空范围的可允许漏气率。
（1）粗略真空系统
真空系统操作压力范围为粗略真空，从大气压力1013mBar至1mBar；可允许漏气率为1毫巴公升/秒。
（2）中度真空系统
真空系统操作压力范围为中度真空，从1mBar至10-3mBar；可允许漏气率为10-2毫巴升/秒。
（3）高真空系统
真空系统操作压力范围为高真空，从10-3mBar至10-7mBar；可允许漏气率为10-5毫巴升/秒。
（4）超高真空系统
真空系统操作压力范围为超高真空，压力10-7mBar；可允许漏气率为10-9毫巴升/秒
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