氦质谱检漏方法分析
氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；
目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5.0×10-12 Pa·m3
真空氦检漏回收系统
氦质谱检漏方法分析
氦质谱检漏是以氦作探索气体，对各种需密封的容器的漏隙进行定位和定量检测的理想方法。氦质谱检漏法有优点在于：①氦是惰性气体，对大气无污染，使用安全；②氦原子质量小，黏度小，易渗透过可能存在的漏隙。③氦气在大气中含量小（5ppm），不易受干扰。④氦质谱检漏仪检测灵敏度高，速度快，适用范围广；
目前国内生产氦质谱检漏仪小可检漏率可达到5.0×10-12 Pa·m3/s，如北京中科科仪生产的542检漏仪。国外检漏仪小可检漏率高可达到5.0×10-13Pa·m3/s，如德国Inficon，法国阿尔卡特等。
目前，国内外比较流行的针对空调两器检漏方法，多采用真空箱法。后续将着重介绍真空箱法检漏在空调两器检测方面的应用。
钢桶真空箱检测系统介绍
1、特点
（1）干式检漏
（2）传送机构，提升机构，不合格件分拣机构的可靠性
（3）检测结果准确，
（4）传送机构确保工件自动运送至待检工位并自动定位
（5）特殊的真空箱底盘设计确保钢桶在检测过程中不产生形变
（6）特殊的真空箱顶部压紧机构确保工件在检测过程中不产生形变及压痕
（7）真空系统设计可靠，抽速快，低本底，氦质谱检测时间充足
（8）检测结束后，工件自动移出待检工位
2、钢桶检测的关键技术参数
（1）工件外形尺寸
（2）真空箱内腔尺寸
（3）检测工位数
（4）检测节拍
（5）检测精度
（6）数据存储
真空系统的结构是影响真空系统密封性和系统漏气率的关键，真空系统的结构合理与否，将直接影响系统的密封性和系统的漏气率。
1、尽可能地避免出现小曲率半径的死角，要光滑过渡查刹于打麈抛光、清洗清扫。
2、抽空管道、送气管道等与真空室相连接的管道，采用圆弧过渡，使气路畅通无阻，但要考虑清洗清扫的方便性。
3、认真设计真空室内各种连接件的结构，使气路畅通，避免气路堵塞。
4、打磨抛光真空系统内表面，表面越光亮就越不易气体吸附，越容易获得真空。
5、尽可能减小真空室的体积，缩短管路系统。
密封形式的选择
密封形式可根据所需真空度的高低及实际工作需要选择密封形式。
密封部位进行水冷后，其温度在80℃左右，个别处温度可达100℃以上)。所以，要选择比较理想的密封圈材料。
用于真空密封橡胶材料，除要求具有光洁表面、无划伤、无裂纹外，还要求有低的渗透率和出气率，良好的耐热性耐油性，同时要有一定的强度、硬度和弹性等。
（作者： 来源：）
