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瓦里安分子泵说明书维修电话「潽拓光电」

我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。7、装配时,先装后级,将弹簧、
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我司从事机电自动化,光电存储媒体,半导体,医liao,太阳能电池板,玻璃镀膜,科学研究所等真空镀膜设备维修,销售,设计,开发及系统工程,软件开发,leybold,Pfeiffer,Alcatel,Agilent(Varian),BOC Edwards,Osaka,ULVAC,Shimadzu等分子泵,真空泵,真空计维修保养/销售等业务。7、装配时,先装后级,将弹簧、旋片托起装入转子内,然后放入真空泵腔。



广州潽拓光电——维修adixen ATH1600M磁悬浮分子泵


阿尔卡特分子泵产品,其大部分分子泵转速在27000rpm,轴承为开放式轴承,需定期添加润滑油脂,广州潽拓公司使用原厂配件维修,保修周期一般为三个月,并免费提供技术服务

Adixen ATH系列就是Adixen改进的涡轮分子泵,采用封闭式轴承,转速提供到45000rpm,且采用多层导流的模式,有效避免碎泵的发生。

分子泵转速设计为39000rpm,adixen ATH1600M分子泵采用Adixen ACT 1600M分子泵电源
















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薄膜沉积设备薄膜沉积指在晶圆表面生成多种薄膜,这些薄膜可以是绝缘体、半导体或导体。它们由不同的材料组成,是使用多种工艺生长或沉积的。通用的沉积技术有化学气相淀积(CVD)、蒸发和溅射PVD。一般来说,其中还要夹杂低温(≤500℃)退火工艺等热处理工艺,用以增进金属层和半导体之间的低电阻接触、消除内应力等。其步骤为,1、切断电源,将真空泵从真空系统上卸下,2、用重力法或加压法将脏油放出并收集起来,以免污染环境。设备运行过程中需要高洁净的真空环境,一般采用以磁悬浮分子泵为主的无油真空系统。 瓦里安分子泵说明书




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用于质谱仪,仪器设备中

按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即气体传输泵和气体捕集泵。








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