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北京电池氦检漏设备生产厂家的行业须知「科创真空」

企业视频展播,请点击播放视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司 氦检漏设备 真空法氦质谱检漏: 采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法
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视频作者:北京科创鼎新真空技术有限公司






氦检漏设备


真空法氦质谱检漏:

采用真空法检漏时,需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空,采用氦罩或喷吹的方法在被检产品外表面施氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通过漏孔进入被检产品内部,再进入氦质谱检漏仪,从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同,又可以将真空法分为真空喷吹法和真空氦罩法。可检漏率:5×10-12Pa·m3/s漏率显围:1×10-3~1×10-12Pa·m3/s启动时间:≤5min响应时间:<。






氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:

一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。

二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气,而电离规,特别是磁放电真空规对氦有记忆效应,其表面污染时就更为严重。

三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。

四、检漏仪中空气的本底影响。

五、残余气体分子对离子的散射作用。

六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。


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(1)对于压氦法,不需要考虑地球干洁大气氦分压的影响。但是如果候检环境大气氦分压显著升高,对于内腔有效容积大,且等效标准漏率小的密封器件,会加大测量漏率值,所以压氦结束后,被检器件应尽快离开压氦设备所在的房间。

对于预充氦法,地球干洁大气氦分压会使测量漏率通过极大值后出现值,且当候检时间与内腔有效容积之比大于100 h/ cm3 时,值点仍处于分子流范围,不能靠粗检法鉴别,所以需辅以压氦法复检,才能防止漏检。

(3)地球干洁大气氦分压会使预充氦法候检时间的特征点变大,从而扩大了需要辅以压氦法复检的范围,但第二特征点不变,也不影响压氦法复检的结果。










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