自动聚焦显微镜的研究在高倍率显微图像的处理过程中,自动聚焦具有重要意义。本文对动态自动聚焦显微镜的清晰度自动检测系统和位置随动系统进行了分析,提出了理想的清晰度检测方法评价参数的特征,叙述了微分峰值检测法的原理、实验结果、 控制系统的设计和整机性能评价。如有您需要订购,欢迎来电咨询我们公司,为您提供详细介绍!
对于故障分析而言,微光显微镜(Emission M
微光显微镜检测
自动聚焦显微镜的研究在高倍率显微图像的处理过程中,自动聚焦具有重要意义。本文对动态自动聚焦显微镜的清晰度自动检测系统和位置随动系统进行了分析,提出了理想的清晰度检测方法评价参数的特征,叙述了微分峰值检测法的原理、实验结果、 控制系统的设计和整机性能评价。如有您需要订购,欢迎来电咨询我们公司,为您提供详细介绍!
对于故障分析而言,微光显微镜(Emission Microscope, EMMI)是一种相当有用且效率极高的分析工具。主要侦测IC内部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs) Recombination会放出光子(Photon)。举例说明:在P-N 结加偏压,此时N阱的电子很容易扩散到P阱,而P的空穴也容易扩散至N然後与P端的空穴(或N端的电子)做 EHP Recombination。

EMMI可广泛应用于侦测各种组件缺陷所产生的漏电流,包括闸极氧化层缺陷(Gate oxide defects)、静电放电破坏(ESD Failure)、闩锁效应(Latch Up)、漏电(Leakage)、接面漏电(Junction Leakage) 、顺向偏压(Forward Bias)及在饱和区域操作的晶体管,可藉由EMMI定位,找热点(Hot Spot 或找亮点)位置,进而得知缺陷原因,帮助后续进一步的失效分析。

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