氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。 在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。
根据氦气储气库位置与样品的不同关系，氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反
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氦质谱检漏方法是基于氦质谱检漏仪的氦分压测量原理。 当样品的密封面发生泄漏时，氦和其他元件的泄漏气体会从泄漏孔中泄漏出来。 当泄漏气体进入氦质谱泄漏检测器后，由于氦质谱泄漏检测器具有选择性识别能力，因此只给出气体中氦的分压信号。 在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。
根据氦气储气库位置与样品的不同关系，氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法，总结了这4种氦质谱法检漏方法的检测原理、优缺点和检测标准。
得到氦质谱检漏器的主要性能指标。
1.较小检漏率: 即氦质谱检漏器能检测到的较小泄漏率。
2.响应清除时间: 当一定流量的勘探气体进入氦质谱检漏仪后，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，漏率指示器可以达到较大值，漏率指示器不能立即恢复到零，需要一定时间下降，通常由于氦的吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间: 氦质谱泄漏探测器开启电源和能够探测到泄漏之间的时间
氦气检漏系统本身检测产品的密封性能。与传统的防水检测方法和氦气检测方法相比，具有以下优点:
1.:由于水的粘度大于气体的粘度，与传统的泡水检测方法相比，气密性检测速度快，产品不需要干燥，所以。
2.安全无污染:泡水检测会污染产品，容易间接腐蚀产品。
3.操作简单:气密性检测仪与氦气检漏或泡水检测法相比，无需操作者过多的肢体动作或长期训练，即可掌握操作方法，操作起来像个傻子。
4.成本低:与氦检漏仪相比，只需要干净的压缩气体代替氦气；传统的泡水检测方法检测产品需要几分钟左右，而气密性检测仪检测产品只需要几秒到十秒，可以节省大量的人力成本、材料成本和时间成本。
5.可靠性高:检漏仪采用微电脑控制系统，由微电脑根据设定值自动判断检测结果，结果可靠。传统的泡水方法由于人眼的疲劳和操作者思维的开小差而不客观。
氦质谱检漏仪的工作原理
近年来由于电子工业的发展，空间探索活动的增加，检漏技术得到了发展，它的重要标志是将以氦为示踪气体的氦质谱检漏仪已地进入了各个适用的领域。氦质谱检漏仪同其它检方法相比，除检漏方法不同之外，以它的检测灵敏度高、速度快，可进行定性、定量、的检测特别是选择无破坏性、无毒，无危险的隋性气体氦为示踪气体，使它成为今天检漏仪器当中的。
在许多科学领域和制造业中，氦质谱检漏仪已成为控制和监督产量的装备。尤其近几年来，电工电子产品的监督检验部门和生产厂家，制冷、汽车、航空、航天等行业强化“以质量求生存”的意识，他们在将氦质谱检漏仪用于生产线和科研应用的同时，不断探索其在本行业的应用开发并积累了很多经验。
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