电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，今天我们来分享电子束产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！
设备组成：
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，
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电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，今天我们来分享电子束产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！
设备组成：
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。
电子束蒸发镀膜机各部件介绍
1、烘烤照明系统1套。烘烤温度：室温-150℃。（在10-4Pa时，真空室内残余气体的组合，水蒸汽约占 90%以上，因此在该压强下进行蒸镀，实际上相当于在水蒸汽中制膜，为了减少水份，提高真空室温，使水分解，是提高膜层质量的一种可行办法）。
2、电控柜：标准电控柜，组装总控制电源、真空系统控制（分子泵、机械泵电源、挡板等）、数显真空计等。柜底下配脚轮，方便移动、定位。
3、手动按钮式操作，备留机电转换及控制接口，方便实验记录.
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电子束镀膜机介绍
* 带旋转的倾斜沉积
* 行星式基片夹具
* 基片RF/DC偏压
* 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀
* 附加物理沉积源（热蒸镀，磁控溅射）
* 用于反应蒸镀的MFC
* 不同的泵组选择，可升级分子泵为冷泵，前级泵为干泵
* 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹
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电子束蒸发镀膜设备简介
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售电子束，我们为您分析该产品的以下信息。
高真空电子束蒸发镀膜设备采用完全封闭的系统框架，结构紧凑，外观更漂亮，使用更安全。★可沉积金属（Au,Ag,Al,Ti,Pt,Mo,Fe,Cr,Ni等）、化合物（ITO等）及有机物材料（进口电子枪）。6-10KW e型电子枪可选国产或进口，可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物（ITO等氧化物）/导电薄膜/光学薄膜等。
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