氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后，
pfeiffer氦质谱检漏仪
氦质谱检漏设备应在施工工作完成后进行本测试，测试完成后不得进行焊缝的修磨等。若设备被浸湿或有残余的液体都会影响毛细管的泄漏而影响测试结果的真实性。对于容积较小的部件，如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等，采用氦罩法被检工件抽空，检漏仪调到漏率（10-11Pa.m3/s），然后对氦罩冲氦。测漏压力应不高于设备设计压力的2 5 %，但不0. 1 03MP。设备备保压3 0分钟后， 用扫描率不大于2 5 mm/秒或更慢的速度在距离焊缝表面不大于3 mm的范围内用吮吸， 并应从焊缝底部至上而行。
外漏主要是渗漏，主要部位为板片和板片之间的密封处、板片二道密封泄漏槽部位以及端部板片与压紧板内侧密封处。
串液主要为压力高的一侧的介质串入压力较低- -侧的介质中，系统会出现压力和温度的异常。如果介质具有腐蚀性，还可能导致回路中其他设备的腐蚀。串液通常发生在导流区域或者二道密封区域。向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封,然后向罩中喷入氮气，观察检漏仪的漏率变化,如果缓慢上升,说明被包裹的位置存在漏点。
将设备稳固的置于明亮、透风良好的场所，连接好检漏用管路及压力表，应将压力表安装在测漏容器的顶部便于观察的位置。可先用氮气或其它惰性气体将设备压力提高， 然后用纯氦气或氦气混合气把测试设备的内压增加至测试压力且 应使设备内部至少含有10%-20%的氦气含量。原子能工业——气体扩散处理系统、容器；航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；高能物理研究院——及其配件。
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