电子束原理介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售电子束产品,我们为您分析该产品的以下信息。
电子在电场中会受力而得到加速、提高能量,产生电子束。电子束焊原理一台电子增速器,注入的电子能量为20GeV(1GeV=109 eV,也就是10亿电子伏特),相应的电子速度为0.99999999979倍光速。电子经增速器加速后,能量可达到100GeV,电子速度达到0.
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电子束原理介绍
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售电子束产品,我们为您分析该产品的以下信息。
电子在电场中会受力而得到加速、提高能量,产生电子束。电子束焊原理一台电子增速器,注入的电子能量为20GeV(1GeV=109 eV,也就是10亿电子伏特),相应的电子速度为0.99999999979倍光速。电子经增速器加速后,能量可达到100GeV,电子速度达到0.999999999987倍的光速。这说明,电子在这台增速器里速度几乎没有增加,而能量增加了4倍。可用于镀半导体、金属膜,氧化物、纳米级单层及多层功能膜的连续沉积。
电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的?
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设备组成:
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用:电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜,SiO2、ZrO2膜,抗腐蚀和耐高温氧化膜。
电子束镀膜机部件介绍
镀膜室:
采用立式、前开门结构,外壁通冷却水。镀膜室尺寸Φ450×H600 mm。在腔室内壁上安装有可拆卸的内衬防护挡板一块(材质:304真空不锈钢, 厚度≥1 mm),镀膜室及前开门材质:304真空不锈钢,镀膜室所有焊缝连接均采用弧焊自动焊接技术;焊接完成后,镀膜室(包括抽气管道、连接法兰等)均进行内表面抛光,外表面喷砂、喷丸、电抛三项处理,以减少出气量。目前运用较多的有磁控溅射,磁控溅射是指平行于阴极表面施加强电场,将电子约束在阴极靶材表面附近,提高电离效率。
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电子束蒸发镀膜的优势
电子束蒸发的优点在于:电子束的光斑可以随意调整,可以一枪多用,灯丝可以隐藏,避免污染,可以蒸发任意镀膜材料,维修方便,蒸发速度可以随意控制,材料分解小,膜密度高。机械强度好。
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