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人类的生存和社会活动与湿度密切相关。随着现代化的实现,很难找出一个与湿度无关的领域来。由于应用领域不同,对湿度传感器的技术要求也不同。
介绍湿敏元件的特性,重点阐述集成湿度传感器、单片智能化湿度/温度传感器的性能特点及产品分类,后给出集成湿度传感器典型产品的技术指标。
在工农业生产、气象、环保、、科研、航天等部门,经常需要对环境湿度进行测量及控制。但在常规的环境参数中,湿度是难准确测量的一个参数。用干湿球湿度计或毛发湿度计来测量湿度的方法,早已无法满足现代科技发展的需要。电子集成技术按工艺方法分为以硅平面工艺为基础的单片集成电路、以薄膜技术为基础的薄膜集成电路和以丝网印刷技术为基础的厚膜集成电路。这是因为测量湿度要比测量温度复杂的多,温度是个独立的被测量,而湿度却受其他因素(大气压强、温度)的影响。此外,湿度的标准也是一个难题。国外生产的湿度标定设备价格十分昂贵。
近年来,国内外在湿度传感器研发领域取得了长足进步。湿敏传感器正从简单的湿敏元件向集成化、智能化、多参数检测的方向迅速发展,为开发新一代湿度/温度测控系统创造了有利条件,也将湿度测量技术提高到新的水平。
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电位计是典型的接触式型角传感器,有一个在电阻膜(包含碳电阻膜、导电塑料薄膜、金属电阻膜、导电陶瓷膜等等)上的滑动触点,由外部作用,使接触点位置改变从而改变电阻膜上下电阻的比率,实现输出端电压随外部位置变化。
电位计由电子元件和游标组成,游标可在元件表面滑动,分直线滑动型和旋转型。前者用于检测直线位移,后者用于检测角度、倾斜角等。显然,压力、重量、流量等可先换成机械位移,然后通过电位计转换成电信号。
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