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高纯气体,在可能造成回流的使用场合,使用设备上必须配备防止倒灌的装置,如单向阀、止回阀、阻火器等。所有使用瓶的用户必须在减压器出口部位接装单向阀和阻火器以防止回流及回火,同时在集中供气瓶减压器出口部位接装单向阀以防止气回流。在使用前,所有减压阀、焊、软管及瓶都应用肥皂水试漏,以防在空气中聚集。
标准气体取样主义事项样品气的置换由于标准气体都要经过减压器和管线后才能取样,要准确取样必须将减压器和管线进行充分的置换,这种置换不是简单意义上的吹扫。因为减压器的死体积很大,不断将钢瓶阀打开关闭反复3次以上,每次将减压器里的气体排尽,然后再吹扫系统才能正确取样。通常,高纯气体系指气体中含较少杂质气氛(纯度),微量水份(干燥度)污染物粒子的娄量保持在低限度,其粒度也应是小的(洁净度)。因此,对于高纯气体,纯度、干燥度、洁净是三项重要的标度。特别是近10年来,随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产,对高纯气体洁净度的要求,其重要程度已不亚于对纯度和干燥度有严格要求的用气工艺,无一不对其中的粒子提出限制。

氮气做气密性试验时,要按压力等级对设备和管道进行分类,相互之间及系统外的连接阀处要加盲板,以防其他阀门被气窜损坏;安全阀应完好,拆除超量程仪表或关闭根阀,以免超压损坏仪表、设备和管道;充电过程应有专人监护,防止超温、超压。所选试验力为操作力的1.1倍。在操作过程中,应疏散相关系统内的其他操作人员,检查人员不得站在法兰(盖)的一侧或对侧。另外,泄漏点的处理应在泄压后进行,严禁进行压力处理。
气瓶维修建议大家定期给气瓶做保养定期检查为了使气瓶处于良好的工作状态,气门需要定期检查装置的某些部件。例如,气瓶一直在很热或很冷的环境中工作,应缩短检验周期。定期检查压力表和安全阀。定期检测气瓶的蒸发率。如果蒸发率超过工厂指标的3倍,则需要进行较全的检查,以确定故障原因。如有可能,应定期检查层间真空度。如果真空度降到15pa以下,重新抽真空。定期检查低温液体气瓶夹套的真空度。如真空度下降,应采取补充抽真空措施(气瓶抽真空由对应的单位或原制造单位进行)。
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