净化技术的设备发展
美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。美国“绿植”网站近日报道，据美国航空航天局、美国园艺科学协会研究，绿植可以净化室内空气。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成
洁净室设备
净化技术的设备发展
美国在台湾的TSMCS新厂已建成第四代管道式洁净室总面积达10000平方米。我国使用的0，1微米十级洁净室主要依赖从国外进口。由于高洁净级别的洁净室造价十分昂贵，0.1微米十级洁净室每平方米造价高达1万美元以上。美国“绿植”网站近日报道，据美国航空航天局、美国园艺科学协会研究，绿植可以净化室内空气。在大规模集成电路制造装备的投资中洁净厂房占有相当高的比例，这与集成电路工艺不断更新，产品更新换代周期越来越快的发展趋势不相适应，严重制约了大规模集成电路技术的发展。
GMP净化工程主要需要注意的方面有以下几点：
(4)生产和加工控制
工厂的整体卫生应由一名或数名指1定的称职的人员进行监督。应采取一切合理的预防措施,确保生产工序不会构成污染源。必要时,应采用化学的、微生物的或外来杂质的检测方法去验明卫生控制的失误或可能发生的食品污染。无尘车间对洁净度的要求很高为10000级，温度20-24℃,湿度45-60%。凡是污染已达到界定的掺杂程度的食品都应一律退回,或者,如果允许的话,经过处理加工以消除其污染。
电子产品制造中无尘车间防静电技术指标要求
（1）防静电地极接地电阻＜10Ω。
（2）防静电地面或地垫：表面电阻值105-109Ω，摩擦电压＜100V。
（3）防静电墙壁：电阻值5×104-109Ω。
（4）防静电工作台垫：表面电阻值105-109Ω；摩擦电压＜100V；对地系统电阻105-109Ω。
（5） 防静电工作椅面对脚轮电阻105-109Ω。
（6） 防静电工作服、帽、手套摩擦电压＜300V；鞋底摩擦电压＜100V。表面电阻值105-109Ω。
（7） 防静电腕带连接电缆电阻1MΩ；佩带腕带时系统电阻750KΩ-1O.5MΩ。脚跟带（鞋束）系统电阻105-108Ω。
（8）物流车台面对车轮系统电阻105-109Ω。
（9）料盒、周转箱、PCB架等物流传递器具表面电阻值103-109Ω，摩擦电压＜100V。
（10）包装代、盒摩擦电压＜100V。
（11）人体综合电阻105-109Ω。
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