氦质谱检漏仪是如何工作的
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,
我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東,并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有-定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M z恰能通
汽车行业检漏厂
氦质谱检漏仪是如何工作的
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的,
我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。
在质谱室的离子源N内,气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成東,并以-定的速度经由缝隙S1进入磁分析器,在均匀磁场的作用下,具有-定速度的离子束,将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M z恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备,使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束则以不同的偏转半径而被分开。
因此,电力行业对高压电气设备及其配套产品在密封性能上要求极高,氦质谱正压检漏法。给被检件内腔充入与设备工作压力相同的氦气,置入封闭容器中,将封闭容器与氢质谱检漏仪连通,待氦质谱检漏仪指示可检时,被检件内的氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室,氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率。氦质谱负压检漏法,将被检件装在氦质谱检漏仪上,对被检件抽真空,当达到检漏仪的开检压力后,对被检件漏点处喷氦气,氦分子在压差的作用下通过漏孔进入设备内的质谱室,氦质谱检漏仪经过分析后自动指示出被检件的漏率

我们应用此检漏技术对发电厂机组汽轮机进行了真空系统检漏,效果良好。
应用氦质谱检漏仪对发电厂汽轮机真空系统进行检漏一般包括真 空法和吸枪法。本次对发电厂机组进行的真空系统检漏测试试验采用吸枪法。
机组正常运行时,真空系统内部处于负压状态,空气通过漏点被吸入凝汽器,终通过水环真空泵抽出,经过气水分离器从排气口排至大气。测试前,将氦质谱检漏仪测试口与吸枪探头通过吸气线连接,并将吸枪探头装设在分离器排气口处,启动氦质谱检漏仪,待检漏仪经过自检程序启动完毕,即可进入试验待检状态。

氦质谱检漏仪使用氦气作为示踪气体,氦是单原子稀有气体分子,在空气中的含量(5.2ppm), 无色、无味,常温下为气态的惰性气体,极不活泼,既不能燃烧,也不助燃,化学性能稳定。在检测器件的密封性能时,遇到器件大漏时,有大量的氦气进入氦质谱检漏仪,短时间内仪器内部氦气难以清除,造成仪器的本底升高,仪器的检测灵敏度降低,影响仪器的再次检测精度。

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