电子束镀膜设备介绍
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电子束蒸镀(Electron Beam Evaporation)是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同,电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材,使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度的薄膜。
电子束镀膜原理
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电子束镀膜设备介绍
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电子束蒸镀(Electron Beam Evaporation)是物理气相沉积的一种。与传统蒸镀方式不同,电子束蒸镀利用电磁场的配合可以精准地实现利用高能电子轰击坩埚内靶材,使之融化进而沉积在基片上。电子束蒸镀可以镀出高纯度的薄膜。
电子束镀膜原理
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电子束蒸镀是利用加速电子轰击镀膜材料,电子的动能转换成热能使镀膜材料加热蒸发,并成膜。电子枪有直射式、环型和E型之分。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度,可达109w/cm2,加热温度可达3000~6000℃,可以蒸发难熔金属或化合物;被蒸发材料置于水冷的坩埚中,可避免坩埚材料的污染,制备高纯薄膜;以上就是关于电子束产品的相关内容介绍,如有需求,欢迎拨打图片上的热线电话。另外,由于蒸发物加热面积小,因而热辐射损失减少,热效率较高。但结构较复杂,且对较多的化合物,由于电子的轰击有可能分解,故不适合多数化合物的蒸镀。
电子束蒸发镀膜机安装介绍
安装台架:整个设备安放在一个用型钢焊接而成的台架上,此台架及围板均进行防锈及喷塑处理。上面罩不锈钢装饰板。
机架:碳钢制作,表面喷塑处理,不锈钢面板,支撑真空腔体及真空系统,底下配脚轮,方便移动、定位。
沈阳鹏程真空技术有限责任公司本着多年电子束产品行业经验,专注电子束产品研发定制与生产,的电子束产品生产设备和技术,建立了严格的产品生产体系,想要更多的了解,欢迎咨询图片上的热线电话!!!
电子束蒸发镀膜设备简介
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售电子束,我们为您分析该产品的以下信息。
高真空电子束蒸发镀膜设备采用完全封闭的系统框架,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。6-10KW e型电子枪可选国产或进口,可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。真空测量:采用数显复合真空计(两只电阻规测量低真空,一只电离规测量高真空),测量范围为1×105Pa—1×10-5Pa。
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