真空泵特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
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真空泵厂
真空泵特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
直连式真空泵操作须知:
1.查看油位,以停泵时注油至油标中心为宜。过低对排气阀不能起油封作用,影响真空泵度。过高会使泵油随着排气口向外喷溅,运转时油位有所升高,属正常现象,油应以规定牌号的清洁真空泵油,油宜经过滤,以免杂物进入,堵塞油孔。
2.检查泵的极限真空压力,我们所标的极限真空压力是根限分压力,应以压缩式真空计为准(所规定)。其他真空计都是测量气体与蒸气分压的总和,故比只能作为参考。
3.该真空泵是用单相电源,接通电源,泵即可工作,但不宜长时间的大排气。排气完了要给泵内放入气,使泵内各部位保持平衡。
真空泵的正确安装方法
1、关于有冷却水的真空泵,按规则接通冷却水。
2、真空泵通电试作业时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规则方向方可投入使用,以防真空泵回转喷油。(转向按防护罩指示方向)
3、当真空泵排出气体影响作业环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
4、如真空泵口装置电磁阀时,阀与真空泵应一起动作。
5、按电动机标牌规则衔接电源,并接地线和装置适宜标准的熔断器及热继电器。
6、在衔接管路中,用户可在真空泵进气口上方装置阀门及真空计,随时可查看真空泵的极限压力。
7、真空泵与体系的衔接管道应密封牢靠,对小真空泵可选用金属管路衔接密封垫选用耐油橡胶,对小真空泵可选用真空胶管衔接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应铲除管道中焊渣,禁止焊渣进入真空泵腔。)
8、真空泵应装置在地上结实巩固的场所,周围应留有充沛的地步,便于查看、维护、保养。
9、真空泵底座下应坚持地基水平,底座四角处主张垫减震橡皮或用螺栓浇制装置,保证真空泵作业平稳,振荡小。
真空泵的范围要求及工作压强
真空泵在进行使用的过程中,其工作强度应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
正确的选择其真空泵的工作点,每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。所以我们在进行真空泵购买过程当中,一定要注意它的售后服务问题。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
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