质谱检漏仪仪器的小可检漏率
当仪器处于佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气作示漏气体进行动态检漏时所能检出的的漏孔漏率,称为仪器可检漏率,用Qmin表示。
(1)所谓佳工作条件,是指被检件出气和漏气都小,它与检漏仪连接后不会影响检漏仪质谱室的正常工作,因此不需加辅助泵。同时,检漏仪的参量也调整在佳工作状态,这时检漏仪能发挥其性能。
(2)所谓动态检漏,是指检漏时,检漏仪的真空系
防水检漏仪检漏仪
质谱检漏仪仪器的小可检漏率
当仪器处于佳工作条件下,以一个大气压的纯氦气作示漏气体进行动态检漏时所能检出的的漏孔漏率,称为仪器可检漏率,用Qmin表示。
(1)所谓佳工作条件,是指被检件出气和漏气都小,它与检漏仪连接后不会影响检漏仪质谱室的正常工作,因此不需加辅助泵。同时,检漏仪的参量也调整在佳工作状态,这时检漏仪能发挥其性能。
(2)所谓动态检漏,是指检漏时,检漏仪的真空系统仍在对质谱室进行抽气,且仪器的反应时间不大于3s的情况。
(3)所谓小可检,是指检漏仪输出仪表上可以观察出来的微小的指示变化,即小可检信号。这个小可检信号主要受无规律起伏变化的仪器的本底噪声和漂移所限制。本底噪声是由于仪器各参数的不稳定引起的,例台电源电压变化、真空度变化、发射电流变化、加速电压变化、放大倍数变化、外界电磁场干扰等都会引起输出仪表的不稳定摆动。漂移被认为是由于电子学上的原因引起的。如果漏入的氦气产生的输出指示的变化小于噪声和漂移之和,就很难判断究竟是漏气信号还是噪声和漂移指示,因而噪声和漂移值也就成为能否判断出漏气信号的关键值。
年泄漏率大的标准漏孔,要注意经常校准。如果发现异常,要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测,都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔,对温度特别敏感。温度每变化1℃,标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如,夏天,室温达到30℃,这种标准漏孔的漏率误差增加30%。
高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。有些生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。
提高氦质谱检漏仪灵敏度方法
从事氦质谱检漏仪器,自动化氦质谱检漏系统研发、生产和销售
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1、尽量开大节流阀。
2、尽量减小外接泵对工件的分流或采用不分流检漏(当工件抽上真空后,关闭工件与外接泵之间的阀门)。
3、将工件用塑料袋包扎,袋内再充入氦气,(但此法不能测出具体漏点)。
4、使用液氮,全开节流阀,采用不分流检漏,必要时可将抽速阀关小。
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