电子束蒸发镀膜机产品介绍
想要了解更多电子束产品的相关内容，请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。
产品配置：
★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）
★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体：高真空系统。
★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋转，转速可调
★加热：
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电子束蒸发镀膜机产品介绍
想要了解更多电子束产品的相关内容，请及时关注沈阳鹏程真空技术有限责任公司网站。
产品配置：
★样片数量及尺寸： 1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或伞形工件架（用户定制）
★蒸发材料：金属；非金属；化合物等薄膜材料。
★蒸发腔体：高真空系统。
★蒸发不均匀性：≤±3%-±5％
★工件架：可旋转，转速可调
★加热：常规加热
★电子枪：E型，带XY偏转扫描
★电子枪坩埚：6穴，17cc
★膜厚监控功能：石英晶控膜厚在线监测与终点控制
★清洗功能：可选配离子源清洗
★器件一次成型复合实验系统：通过复合mask系统与样品对准系统，一次完成器件的多个工艺步骤
★检测与控制光学特性的功能：可选配光控仪
★操作模式：全自动+半自动控制
电子束蒸发镀膜机是由哪些部分组成的？
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，今天我们来分享电子束产品的相关内容，希望对同行业的朋友有所帮助！
设备组成：
设备由薄膜沉积室、真空获得系统、真空测量系统、电子束蒸发系统、水冷却循环系统、膜厚监测及控制系统、安全保护系统组成。
作用：电子束蒸镀常用来制备Al、CO、Ni、Fe的合金或氧化物膜，SiO2、ZrO2膜，抗腐蚀和耐高温氧化膜。
电子束蒸发镀膜设备介绍哪些性能？
沈阳鹏程真空技术有限责任公司拥有的技术，我们都以质量为本，信誉高，我们竭诚欢迎广大的顾客来公司洽谈业务。如果您对电子束产品感兴趣，欢迎点击左右两侧的在线客服，或拨打咨询电话。
真空测量：采用数显复合真空计（两只电阻规测量低真空，一只电离规测量高真空）, 测量范围为1×105Pa —1×10-5Pa。
断水报警、相序检测与保护、温度检测与保护、真空系统检测与保护。
电子束镀膜机电源柜的操作
1. 总电源
2. 同时开电子枪控制Ⅰ和电子枪控制Ⅱ电源：按电子枪控制Ⅰ电源、延迟开关、电源及保护灯亮，三分钟后延迟 及保护灯灭，若后门未关好或水流继电器有故障，保护灯会常亮。
3. 开高压，高压会达到10KV以上，调节束流可到200mA左右，帘栅为20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流在1~1.7之间摆动。
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