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高纯气体中的高纯氮气规格在外延，光刻，清洁和蒸发过程中用作置换，干燥，存储和运输的气体。在显像管的制造中，要求氮气纯度为99.99％或更高。在太空技术中，液态氢填充系统必须先用高纯度氮气代替，然后再用高纯度氦气代替。
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