间隙距离，真空的击穿电压与间隙距离有着比较明确的关系。试验表明，当间隙距离较小时（≤5mm），击穿电压随着间隙距离的增加而线性增长，但随着间隙距离的进一步增加，击穿电压的增长减缓，即真空间隙发生击穿的电场强度随着间隙距离的增加而减小。当间隙达到一定的长度后（≥20mm），单靠增加间隙距离提高耐压水平已经十分困难，这时采用多断口反而比单断口有利。一般认为短间隙下的穿主要是场致发射引起的，而长间隙下的
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间隙距离，真空的击穿电压与间隙距离有着比较明确的关系。试验表明，当间隙距离较小时（≤5mm），击穿电压随着间隙距离的增加而线性增长，但随着间隙距离的进一步增加，击穿电压的增长减缓，即真空间隙发生击穿的电场强度随着间隙距离的增加而减小。当间隙达到一定的长度后（≥20mm），单靠增加间隙距离提高耐压水平已经十分困难，这时采用多断口反而比单断口有利。
一般认为短间隙下的穿主要是场致发射引起的，而长间隙下的的穿则主要是微粒效应所致。电极材料，真空开关工作在10-2Pa以上的高真空，由于此时气体分子十分稀少，气体分子的碰撞游离对击穿已经不起作用，因此击穿电压表现出和电极材料有较强的相关性。真空间隙的击穿电压随着电极材料的不同而不同，研究者发现击穿电压和材料的硬度与机械强度有关。
关于电极的表面状况，电极的表面状况对真空间隙的击穿电压影响较大。电极表面的氧化物、杂质和金属微粒都会使真空间隙的击穿电压明显下降。此外，无论真空灭弧室的电极表面在制造中加工得如何，大电流开断均会使电极表面变得凸凹不平，这也将使得击穿电压降低。老炼效应，电极老炼有电压老炼和电流老炼两种，在使用真空泵起着很大的作用。
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