双工位氦检漏系统构成
（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。
（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。
（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。
（4）耐压测试单元：通过向工件内充注
真空箱氦检漏设备维修
双工位氦检漏系统构成
（1）粗抽机组：一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用，获得从一个大气压到千帕级真空，并为后续精抽真空作准备。
（2）精抽机组：一般采用罗茨泵作为精抽真空使用，获得检漏要求的真空，一般为5Pa左右。
（3）检漏仪：是检漏系统中的部件，检漏仪执行检漏工作时，给出工件泄露量大小，并判断工件是否合格，输出控制信号。
（4）耐压测试单元：通过向工件内充注高压气体，一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程，有传感器感测压力差，并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。
（5）工件抽空单元：为保证氦气有循环过程中氦气的纯度，在向工件充注氦气之前，抽出工件内的空气。
目前氦检技术在空调两器生产中的应用情况
由于氦质谱检漏仪具有灵敏度高、反应快、度高、准确定位、安全等优势，其它水检等检漏方法已逐步被取代。目前空调器生产用氦气做示踪气体的氦检漏方法包括吸法和真空箱检漏法。
吸氦检法是在工件内充入氦气，用氦质谱检漏仪的吸嘴在待检工件表面扫描，吸吸入的气体经节流后流入检漏仪质谱室，根据检出的氦气分压强的大小来判断漏孔的有无和大小。这种方法具有较高的精度。但它也有其明显的不足之处。①需要逐步检漏漏点，而空调器的焊点多达几百处，所以单独使用效率低；②吸法的精度与多种因素有关，如果吸与漏孔距离大于10mm时，所检漏率只有实际漏率的3~5%，如果吸的移动速度达到16mm/s，灵敏度将降到30%。由此可见，操作不当极易产生漏检；③吸法只能测单个漏点是否超标，而不能判断整体漏率情况。因以上几点不足，实际生产中，吸法一般配合真空箱法使用，当真空箱法检出不合格工件时，用吸法来找出不合格件的漏点所在。真空箱法是将充有氦气的工件放入箱内，然后对箱内抽真空，用氦质谱检漏仪探测真空箱内的氦气质量，推算出工件的实际氦漏率，该方法检漏便于迅速判断工件有无泄漏，可以称为“把关式”检漏法。在正常情况下，可以保证不漏检，真空箱设备的氦质谱检漏仪精度可以达到10-12Pa.m3.s-1(He)。实际生产中，由于考虑生产节拍（20~30秒），一般可以检漏率为4X10-7Pa.m3.s-1。相当于0.5g/年（R22的漏率），完全满足家用空调器的检漏需要。真空箱氦检法的缺点是不能发现工件的具体漏点，所以需增加吸法来找出不合格件的具体漏点。
真空箱检漏法。
自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践
整套使用PLC自动化控制，触摸屏显示信息流程，自动化控制流程如下：
①操作员(或机械手)将工件放置工装板上，连接工件，启动按钮，工件随流水线运行至下一工位。工件在工装板上连接，多工件接口汇总成一个接口，方便实现工件接口的自动对接，并实现了一箱多检，大大提高了氦检效率；
②工件连同工装板运行至充高压气体、抽空、充氦三合一工位，充气接头与工装板上的汇总接头自动对接，完成检大漏抽空充氦，完成后接头自动脱落，工件随流水线从真空箱前门进入，进行氦气检测，完成后箱门垂直提升打开，箱内动力辊筒启动，工件从真空箱后门出来；
③工件氦检完随线体运行出真空箱后，判断合格的、不合格的工件按图1所示分开运行至下一个工位；
④合格工件运行至回收工位，对工件内的氦气进行真空法回收，循环使用。回收工位自动接上接头，检测工件内压力小于设定值时报警，接头自动脱落合格产品下转；
⑤工件运行至下料工位，人工(或机械手)将工件取下氦检线体，空载工装板继续随线体下转至升降机，由底层输送线将工装板返回上料工位；
⑥不合格工件随线体运行至返修小屋，找出漏点返修后的空调两器随线体运行至上料工位重新按上述流程氦检。
这样就捋顺了物流，减少了工件等待时间，避免了人工搬运进出箱体。通过自动耐压预抽设备，与多个被检工件自动连接、断开，减少了人工插拔接头次数。
1.什么是真空真空定义成稀释的空气，或者相应的状态，如压力或密度比外界环境大气少.因为大气压在地球表面不同的地方是波动的，随海拔升高而减少，所以不可能给出真空范围的上限。
2.真空总述接下来，为了获得真空，必须在腔体中产a生一个小于大气压的压力.由于地球有万有引力，不同海拔高度由不同大气压力
如果P=P0/2，由公式可以得到: h 1/2=5548m， 换句话说，大气压力每5548米减半.喷气式客机的巡航高度大约是地球表面上10千米，大气压力减到了290mbar. 探空气球在30千米测得压力24mbar. 这一类压力可以归为低真空范围内. 距地球表面更远的距离，如轨道高度250千米，压力减少到E-5到E-6 mbar，更远的空间可到超高真空E-14mbar。 实际利用压力差来产生力是在1000-1mbar范围内，在这种范围内，真空度是用大气压的百分比来表示的。
在地面上要达到在太空中一样的真空需要很多手段，各种真空泵用来获得各种不同的压力。
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