真空镀膜磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电子交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击亚气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。
不管平衡非平衡,若磁铁静止,其磁场特性决定一般靶材利用率小于30%。为增大靶材利用率,可采用旋转磁场。但旋转磁场需要旋转机构,同时溅射速率要减小。旋转磁
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真空镀膜磁控溅射包括很多种类。各有不同工作原理和应用对象。但有一共同点:利用磁场与电子交互作用,使电子在靶表面附近成螺旋状运行,从而增大电子撞击亚气产生离子的概率。所产生的离子在电场作用下撞向靶面从而溅射出靶材。
不管平衡非平衡,若磁铁静止,其磁场特性决定一般靶材利用率小于30%。为增大靶材利用率,可采用旋转磁场。但旋转磁场需要旋转机构,同时溅射速率要减小。旋转磁场多用于大型或贵重靶。如半导体膜溅射。对于小型设备和一般工业设备,多用磁场静止靶源。

1、铜-镍-铬厚度搭配不当;当镍层和铜层的厚度搭配不当时,做冷热循环,因镍层的应力较大,在高温或低温时被释放,这时需要利用铜层的延展性进行分散,当铜层的厚度未能完全分散应力时,造成镀层起泡。
2、粗化不良或者亲水不良;当所用胶件含有PC料或者其他耐火料、增强料等的掺杂,使的粗化时,基材的应力未完全得到施放或者粗化不到位,导致在冷热循环的高温状态时,因镀层和基才的结合力不好,而引起起泡。

镀膜产品的常见问题,部分是镀膜工序的本身造成的,部分是前工程遗留的问题,镀膜终的是整个光学零件加工的(特别是抛光、清洗)的综合反映,对于出现镀膜不良时必须综合考虑,才能真正找到不良产生的原因,对策改善才能取得成效。真空室脏,在开始抽真空时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上,形成灰点层。(膜内,不能擦除,会有点状脱膜)

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