洁净室具有风量大，空调系统风压高，运行时间长等特点，故其能耗比一般建筑为大。因此，在设计中应考虑节能措施。一、能耗特点国外对普通办公楼与一般洁净厂房的风量作比较，其大致数值见表27.10-1。普通民用空调（如办公楼、旅馆）单位建筑面积的冷负荷在100~130w，而半导体厂房的冷负荷可能高达500~1000w/㎡。从符合因数来看：微电子生产车间的空调能耗中工艺而设备负荷、输送负荷以及新风负荷主体，一
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洁净室具有风量大，空调系统风压高，运行时间长等特点，故其能耗比一般建筑为大。因此，在设计中应考虑节能措施。一、能耗特点国外对普通办公楼与一般洁净厂房的风量作比较，其大致数值见表27.10-1。普通民用空调（如办公楼、旅馆）单位建筑面积的冷负荷在100~130w，而半导体厂房的冷负荷可能高达500~1000w/㎡。从符合因数来看：微电子生产车间的空调能耗中工艺而设备负荷、输送负荷以及新风负荷主体，一般均占90％以上，图27.10-1为某芯片（φ300mm）生产厂房冷负荷的成分组成。表27.10-2还给出了不同级别洁净室的负荷组成供参考。另一个特点是：从全年来看所有季节均存在冷却负荷，即其供冷季节长，这也是从整体上讲其能耗大的原因。
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