真空镀膜机油扩散泵的作用
今天要和大家讲解一下真空镀膜机油扩散泵的作用,想进入这行业的人员可以多了解这方面的知识,后期从事这方面的工作,能够进入状态,有很大的帮助。
油扩散泵:机械泵的极限真空只有10-2帕,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,如果要获得高真空的话,必须采用油扩散泵。由于油扩散泵是早用来获得高真空的泵,其由
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真空镀膜机油扩散泵的作用
今天要和大家讲解一下真空镀膜机油扩散泵的作用,想进入这行业的人员可以多了解这方面的知识,后期从事这方面的工作,能够进入状态,有很大的帮助。
油扩散泵:机械泵的极限真空只有10-2帕,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,如果要获得高真空的话,必须采用油扩散泵。由于油扩散泵是早用来获得高真空的泵,其由于造价便宜,维护方便,使用广泛,所以本文将重点讨论。油扩散泵的应用压强范围是10-1帕-10-7帕,它是利用气体的扩散现象来排气的,它具有结构简单,操作方便,抽速大(可以达到10+5升/秒)等特点。油扩散泵主要由泵壳、喷嘴、导流管和加热器组成,里面主要添加扩散泵油(日本的型号是D-704#),根据喷嘴的多少可以分为单级泵和多级泵。扩散泵底部内储存有扩散泵油,上部为进气口,右侧旁下部为出气口,在工作时出气口由机械泵提供前置压强,机械泵充当前置泵。
当扩散泵的油被电炉加热时,产生的油蒸汽提供前置压强,机械泵充当前置泵。当扩散泵油被电炉加热时,产生的油蒸汽沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的1-10-1帕的真空,故油蒸汽可喷出一段距离,构成一个向出气口方向运动的射流。射流后碰上由冷却水冷却的泵壁,凝结为液体,流回蒸发器,即靠油的蒸发——喷射——凝结,重复循环来实现抽气的。
真空镀膜机泵有哪几种类型
很多人对真空镀膜机很了解,对真空镀膜机泵却接触很少,也不知道真空镀膜机泵到底有啥作用,分那几类,下面为大家详细介绍一下,真空镀膜机泵有几大类,它们各自原理是怎样的。真空镀膜机有三个泵的:机械泵(一般是油旋转泵),增压泵又叫罗茨泵,高真空泵(扩散泵或者分子泵)。
机械泵是从大气开始工作的,机械泵排气的效果还与电机的转速及皮带的松紧度有关系,当电机的皮带比较松,电机转速很慢的时候,机械泵的排气效果也会变差,所以要经常保养,点检,机械泵油的密封效果也需要常常点检,油过少,达不到密封效果,泵内会漏气,油过多,把吸气孔堵塞,无法吸气和排气,一般,在油位在线下0.5厘米即可。
增压泵,它是具有一对同步高速旋转的双叶形或多叶形转子的机械泵,由于它的工作原理与罗茨鼓风机相同,所以又可以叫罗茨真空泵,此泵在100-1帕压强范围内有较大的抽气速度,它弥补了机械泵在此范围内排气能力不足的缺点,此泵不能从大气开始工作,也不能直接排出大气,它的作用仅仅是增加进气口和排气口之间的压差,其余的则需要机械泵来完成,因此,它必须配以机械泵作为前级泵。
油扩散泵,机械泵的极限真空只有10-2帕,当达到10-1帕的时候,实际抽速只有理论的1/10,如果要获得高真空的话,必须采用油扩散泵。
全自动真空镀膜机
适应于玻璃、塑胶等基片上镀制各类光学薄膜和其它机能性装饰薄膜的批量化生产
采用的电气控制系统,良好的用户操作界面,大大减轻作业人员的负担
RCS自动镀膜控制系统保证整个镀膜过程自动完成
基片架转动采用磁流体密封技术保证真空密封,中心驱动方式保证薄膜产品的均匀性及重复性
优化的配置、严格的控制保证产量的稳定性和重复性
排气速率.镀膜效率的提高,大大缩短了产品生产周期
真空镀膜机原理和各部件分析
真空镀膜机原理和各部件分析
一、真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用多的有直径1、3M、0、9M、1、5M、1、8M等,腔体由不锈钢"target=_blank>不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。

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