电子束蒸发镀膜机的技术特点
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售电子束产品，以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。
1、样品台：水冷样品座，样品座高度可调，便于调整蒸距。调节范围：样品台与基片的可调节范围300mm.
2、电子枪：电子枪功率6kW可调（满足金属、绝缘材料高速蒸发）4穴水冷坩埚（适用于对多种材料进行蒸发镀制多层膜且膜层较薄工艺中应
激光分子束外延设备公司
电子束蒸发镀膜机的技术特点
沈阳鹏程真空技术有限责任公司生产、销售电子束产品，以下信息由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供。
1、样品台：水冷样品座，样品座高度可调，便于调整蒸距。调节范围：样品台与基片的可调节范围300mm.
2、电子枪：电子枪功率6kW可调（满足金属、绝缘材料高速蒸发）4穴水冷坩埚（适用于对多种材料进行蒸发镀制多层膜且膜层较薄工艺中应用效果好）。为保持E型电子枪蒸发绝缘稳定性，配制束流扫描控制器，具有多种供控制程序进行选择的预设模式，方便于操作、实验数据积累。电子束加热蒸镀的特点是能获得极高的能量密度，可达109w/cm2，加热温度可达3000～6000℃，可以蒸发难熔金属或化合物。配套相应蒸发坩埚内衬,以适应不同材料,确保蒸发速率稳定性,重复性.
电子束镀膜机介绍
* 带旋转的倾斜沉积
* 行星式基片夹具
* 基片RF/DC偏压
* 基片清洗的离子源以及离子辅助蒸镀
* 附加物理沉积源（热蒸镀，磁控溅射）
* 用于反应蒸镀的MFC
* 不同的泵组选择，可升级分子泵为冷泵，前级泵为干泵
* 进样室和自动上下片/可支持单片和25片片夹
以上就是关于电子束的相关内容介绍，如有需求，欢迎拨打图片上的热线电话！
电子束镀膜有哪些特点？
以下内容由沈阳鹏程真空技术有限责任公司为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。
★ 完全封闭的系统框架设计，外观更漂亮，使用更安全；是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品；
★ 前开门真空腔体，方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护；
★可定制一体化高的精度刻蚀掩膜板；基片台公转，转速0～25rpm连续可调；平板基底衬底可选择加热或水冷；
★ 更优的薄膜均匀性和重复性，采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚；
★可沉积金属（Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等）、化合物（ITO等）及有机物材料（进口电子枪）。
双枪电子束镀膜机介绍
电子枪蒸发是到目前为止应用较多的一种蒸发方式，它可以蒸发任何一种镀膜材料，它的工作方式是：将镀膜材料放在坩埚里面，将蒸发源制作成灯丝形状，采用一专门的控制柜，对灯丝加一强电流，高电压，由于灯丝的材料是钨，所以它会发热，然后会发射电子，再采用一定的磁场将其聚集成一定形状，并牵引到坩埚上，这样就形成了一股电子束，由于电子束温度非常高，可以熔化任何镀膜药材，当镀膜药材被电子束熔化后（有些材料是直接升华），药材的分子（原子或者离子）在真空中成直线运动，然后遇到基板，就凝结下来，经过这种方式生长，形成薄膜！DZS800型电子束镀膜设备主要用途：用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜等，批量生产型。
常用的有将电子束的偏转角制作成270度，、或者运行轨迹为e型的e行电子枪或者电子束偏转角180度，运行轨迹为c型的c型电子枪两种。
期望大家在选购电子束时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。想要了解更多电子束的相关资讯，欢迎拨打图片上的热线电话！！！
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