严格控制材料设备质量
洁净室的材料设备主要有各类装饰材料和空调设备材料。对装饰材料应严格按有关工程技术标准、施工质量验收规范和设计文件的要求进行检验和验证。洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料，不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。
空调保温材料也必须符合有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。
电子厂净化工程
严格控制材料设备质量
洁净室的材料设备主要有各类装饰材料和空调设备材料。对装饰材料应严格按有关工程技术标准、施工质量验收规范和设计文件的要求进行检验和验证。洁净室应使用不产尘、不积尘、耐腐蚀、防潮防霉和容易清洁并具有防火功能的材料，不能使用木材和石膏板作表面装饰材料。
空调保温材料也必须符合有关规定达到耐腐蚀、不产尘、不附着灰尘和防火等要求。
送回风管道质量控制
送回风系统管道的密封，是为防止不洁净的空气进入风管，阻止了风管内受污染的空气渗透出去，从而可满足洁净室内的洁净度和延长高1效过滤器使用时间。施工中应重点控制管道加工、管道施工和设备的安装质量。
管道加工时应着重做好风管设备的清洁和管道加工过程中的密封措施。管道加工时应采用镀锌钢板制作，满足平整、光滑、坚固及耐侵蚀的要求;消声器内 充填的消声材料应不产尘、不掉渣(纤维)、不吸潮、无污染，不得用松散材料，纤维材料应为毡式材料，外覆可以防止纤维穿透的包材。不应采用泡沫塑料和离心 玻璃棉.
净化工程在设计时，工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材。净化工程的步的关键是设计，工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工，还会影响净化工程今后的稳定性、可靠性、经济性。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。
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