天津球差电镜测试机构常用解决方案「多图」

扫描电子显微镜SEM 基本参数

放大率：通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到

场深：扫描电子显微镜SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

工作距离：工作距离指从物镜到样品高点的垂直距离。

如果增加工作距离，可以在其他条件不变的情况下获得更大的场深。

如果减少工作距离，则可以在其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。

通常使用的工作距离在5毫米到10毫米之间

环境对台式扫描电子显微镜产生的影响

1、灰尘的影响

　　如果台式扫描电子显微镜的导轨、镜头和电源等电子元件沾上了太多尘埃物质，就会对台式扫描电子显微镜的精度、成像造成严重影响，导致测量结果不准确，并且还会加快硬件的磨损，所以一定要定期清洁，注意卫生。

　　2、油污的影响

　　如果台式扫描电子显微镜的导轨、镜头、平面玻璃和电源等电子元件都不能沾染油污，会大大缩短仪器的使用寿命，在触摸台式扫描电子显微镜的时候要戴棉质手套。

　　3、光照的影响

　　台式扫描电子显微镜不能直接对着太阳直射，也不能放在阳台很强的位置，否则会影响台式扫描电子显微镜精度，长时间温度过高还会损坏台式扫描电子显微镜。

扫描电子显微镜(SEM)之样品处理的要求

扫描电子显微镜（SEM）之样品处理的要求

样品须为干燥。

水蒸气会加速电子阴极材料的挥发，从而大降低灯丝寿命；水蒸气会散射电子束，增加电子束能量分散，从而加大色差，降低分辨能力。

样品表面须导电。

在大多数情况下，初级电子束电荷数量都大于背散射电子和二次电子数量之和，因此多余的电子须导入地下，即样品表面电位须保持在0电位。如果样品表面不导电，或者样品接地线断裂，那么样品表面静电荷存在，使得表面负电势不断增加，出现充电效应，使图像畸变，入射电子束减速，此时样品如同一个电子平面镜。

在某些情况下，样品制备变成重要的考虑因素

若要检测观察弱反差机理，就须消除强反差机理（例如，形貌反差），否则很难检测到弱的反差。当希望EBSD背散射电子衍射反差，I和II型磁反差或其他弱反差机理时，磁性材料的磁畴特性须消除样品的形貌。采用化学抛光，电解抛光等，产生一个几乎消除形貌的镜面。

热场发射扫描电子显微镜的类型

扫描电子显微镜的类型

扫描电子显微镜类型多样, 不同类型的扫描电子显微镜存在性能上的差异。根据电子种类可分为三种:场发射电子、钨丝和六硼化镧 。

其中, 场发射扫描电子显微镜根据光源性能可分为冷场发射扫描电子显微镜和热场发射扫描电子显微镜。