爱德华真空泵轴承的检修标准
爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度，同时结构相对来讲比较复杂，所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装，下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。
拆卸轴承应使用工具，安装时不得用锤直接敲击轴承，需敲击时必须垫以软金属。
装配轴承时，应先检查轴承质量、配合尺寸偏差
罗茨真空泵爱德华
爱德华真空泵轴承的检修标准
爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度，同时结构相对来讲比较复杂，所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装，下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。
拆卸轴承应使用工具，安装时不得用锤直接敲击轴承，需敲击时必须垫以软金属。
装配轴承时，应先检查轴承质量、配合尺寸偏差等是否符合要求。
轴承内圈端面应与轴肩靠紧
轴承采用加热安装时，加热可采用油浴，油温不超过100-120度，轴承油浴时间10-15Min，严禁用火焰直接加热轴承。
概述
EM 系列的油封旋转泵（因其限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理蒸汽而享有盛誉）已成为工业和实验室应用的行业标准。
E2M28 泵是双级、直联式滑片泵。该泵是油封的，旨在于实验室和工业环境中都能进行可靠的长期运行。该泵是自由放置的装置，其传动由一个单相或三相（四极）电机通过活动联结器提供。
应用分析仪器 - LCMS汽车射束线和高能物理超高速离心机覆层低温学脱气/硫化 - 油，环氧树脂蒸馏/萃取/过滤冷冻干燥熔炉气瓶充气/排空凝胶体干燥手套式操作箱，干燥炉实验室工作台上真空激光机、 气体回收和再循环氦检漏仪负载锁和传输腔冷冻制造旋转离心蒸发器溶剂回收表面科学仪器涡轮分子前级泵 技术数据
E2M18E2M28E1M18排量 (50Hz)20.5 m3h-1/32.2 m3h-120.5 m3h-1/ 12.1 ft3min-1 19 ft3min-112.1 ft3min-1排量 (60Hz)25.0 m3h-1/38.9 m3h-125.0 m3h-1/ 14.7 ft3min-116.2 ft3min-114.7 ft3min-1速度 (Pneurop 6602) 50 Hz17.0 m3h-1/27.5 m3h-117.0 m3h-1/ 10 ft3min-116.2 ft3min-110 ft3min-1速度 (Pneurop 6602) 60Hz20.4 m3h-1/33.0 m3h-120.4 m3h-1/ 12.1 ft3min-1 19.5 ft3min-112.1 ft3min-1极限真空（总压力）
半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。
所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。五、罗兹泵EDWARDS在早推出高抽速的罗茨泵，其抽气率从240m3／h到4500m3／h，极限真空10-3mbar。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。
EUV 平版印刷泵送解决方案
多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。6ft3min-160Hz90m3h-1/53ft3min-1级数2极限真空（总压力）不带气镇1。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型投资提供 可靠性。
电子束平版印刷解决方案
电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。
我们的产品解决方案
您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。5、供应进口真空泵油，进口真空泵，原厂真空泵配件，真空泵维修保养，真空系统定做与设计。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。
使用真空泵机组时需要注意什么
1、在蒸馏系统和真空泵机
