洁净厂房的竣工验收合格，并经核实批准后，按要求进行功能验收，功能验收是在“静态”进行测试，其主要测试内容如下：
1 检测空气洁净度等级;
2 生产工艺有要求者，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;
3 洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试;
4 检测自净时间;
5 检测洁净室(区)的密闭性测试;
6 测定照度;
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洁净厂房的竣工验收合格，并经核实批准后，按要求进行功能验收，功能验收是在“静态”进行测试，其主要测试内容如下：
1 检测空气洁净度等级;
2 生产工艺有要求者，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;
3 洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试;
4 检测自净时间;
5 检测洁净室(区)的密闭性测试;
6 测定照度;
7 测定噪声级;
8 需要时，确认和记录气流形式和换气次数;
9 其他需要进行的其他检测项目。
洁净厂房使用验收后，应编写使用验收报告，其主要内容有：
1 洁净厂房中各种设施(包括生产工艺设备)等的开启状态描述;
2 测试的洁净室(区)人员及其活动情况的描述;
3 分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、座标等);
4 测试仪器的有效校验证书;
5 验收出具相关结论。
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无尘室要有符合环境、无尘室内部的清洗溶液及振动、设备、空气过滤系统的耐久材料。而耐久性，同时也依赖无尘室等级来建造。半导体Fabs倾向选择铝，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物质。在制药和生物工学工业，无尘室的墙壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止滤过性的病毒或细菌的污染之特性。在biotech市场，清洗真正地是一个很重要的企业。
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