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多功能化学气相沉积「多图」

真空镀膜应用是真空应用中的一个大分支,在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及表面处理技术等众多方面有着十分广泛的应用。Parylene(中文称:派瑞林、聚对二甲苯,或派拉伦)是对一系列特别的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作Parylene,即聚对二甲苯,是一种完全线性的高度结晶结构的材料。多功能化学气相沉积 真空镀膜就是以磁场束缚而延长电子的运动路径,改
多功能化学气相沉积






真空镀膜应用是真空应用中的一个大分支,在光学、电子学、理化仪器、包装、机械以及表面处理技术等众多方面有着十分广泛的应用。Parylene(中文称:派瑞林、聚对二甲苯,或派拉伦)是对一系列特别的高聚物的一个通常的称呼。这个家庭中基本的成员称作Parylene,即聚对二甲苯,是一种完全线性的高度结晶结构的材料。多功能化学气相沉积



真空镀膜就是以磁场束缚而延长电子的运动路径,改变电子的运动方向,提高工作气体的电离率和有效利用电子的能量.电子的归宿不仅仅是基片,真空室内壁及靶源阳极也是电子归宿,因为一般基片与真空室及阳极在同一电势.磁场与电场的交互作用使单个电子轨迹呈三维螺旋状,而不是仅仅在靶面圆周运动。高真空蒸镀的镀膜,与膜厚的关系甚小,而且在某个膜厚以56%下,经过一个小的较大值后将迅速减小。



东莞拉奇纳米科技有限公司,是将派瑞林(parylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:无细孔、防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。Parylene是一种完全线性结构的高结晶度透明薄膜材料,直接涂敷在被保护标本上,无需另加防霉剂,本身防霉能达零级。

镀膜前的准备工作

①清洁真空镀膜室。用吸尘器将真空镀膜室清洁一遍。当经过多次镀膜时,真空镀膜室的内衬板还需作定期清洗,一般是半个月清洗一次。

②检查电弧蒸发源。工作前,要确保电弧蒸发源发源安装正确,绝缘良好,引弧针控制灵活,程合适,恰好能触及阴极表面。

③检查工件架的绝缘情况。










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