烘箱送风方式分为水平送风和垂直送风。
水平送风：适用于需放置在托盘中烘烤的物件；水品送风的热风是由工作室两边吹出的，所以可以沐浴在托盘中的物件！烘烤效果会很好。烘箱选型依据及理由因为烘箱用在光刻工艺，所以对其的洁净度要求比较高，同时用于膜的固化等工艺，保持片内的均匀性、温控系统也是要求较高。相反，放置在托盘中烘烤的物件用垂直送风是很不适宜的，垂直送风热风是由上而下吹出，它
大型热风循环烘箱
烘箱送风方式分为水平送风和垂直送风。
水平送风：适用于需放置在托盘中烘烤的物件；水品送风的热风是由工作室两边吹出的，所以可以沐浴在托盘中的物件！烘烤效果会很好。烘箱选型依据及理由因为烘箱用在光刻工艺，所以对其的洁净度要求比较高，同时用于膜的固化等工艺，保持片内的均匀性、温控系统也是要求较高。相反，放置在托盘中烘烤的物件用垂直送风是很不适宜的，垂直送风热风是由上而下吹出，它会把热风挡住，从而热风沐浴不到下面几层，相应烘烤效果会很差！
垂直送风：适用于烘烤放置在网架上的物件，垂直送风热风是由上而下吹出，由于是网架，真个上下流通性会很好，使得热风可完全沐浴在物件上！
真空烘箱的安装与调试
1、运输中注意不要在玻璃上用力，也不要碰撞箱体。
2、真空干燥箱落地后，应放置平稳如地面不平应予以修正。
3、请不要再阳光直射或高温潮湿的地方使用仪器。
4、真空干燥箱应远离电磁干扰源，并将设备的接地线有效接地。
5、真空干燥箱在正常运行时，箱内物品摆放应不要碰到内壁。
6、 电源线不要紧靠后面，也不要让仪器或其他物品压在电源线上，以免损伤电源线。
烘箱干燥的空气速度与空气温度
干燥速率主要由空气撞击涂层的表面速度及撞击涂层空气的温度决定。4．定时检查温控器是否准确，如不准确，请调整温控器的静态补偿或传感器修正值。为了做到均匀干燥，就要做到均匀送风与均匀的温度场。在理想情况下，要求空气从喷孔喷射到涂层上，能够与相邻的喷孔喷射到涂层上的空气相互重合，并且喷射到涂层上的空气速度均匀，温度场均匀。
一般情况下，喷孔形式有圆形喷孔、长方形喷孔及狭缝形喷孔。出口处可采用和100级洁净度垂直层流的净化对物料进行冷却使物料处于严格无菌无尘状态。采用那种喷孔形式效率较高，本人认为只要系统设计正确，都可采用，实际上这些喷孔系统都普遍地和成功地用在各种不同的产品上。对于特定的工艺，其喷孔的形式，喷孔的布置方法，喷孔的空气速度及空气温度，一般都要经过试验来确定其参数，包括喷孔的开口大小、距纸面的距离、排列位置的间隔及合理的回风道等，以满足均匀干燥的要求。
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