Edwards二手分子泵性价择优推荐「潽拓光电」

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Edwards二手分子泵性价


广州潽拓——{精}，分子泵

EDWARDS EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修




爱德华EPX 180真空干泵

Edwards EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。EPX 系列以极轻、的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获zhuanli的单轴再生 Holweck® 分级机构，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，可以远程安装。重量43.5KG。








潽拓——{精}，分子泵

出售Edwards ext75i涡轮分子泵及提供维修保养服务



广州潽拓——爱德华真空真空泵, EXT75DX分子泵是一款磁悬浮轴承与陶瓷轴承结合使用的复合分子泵，采用成熟的轴承技术，上轴承为性磁悬浮轴承，下轴承为油润滑陶瓷轴承，并采用Holweck拖曳分级技术，可以DC 24V直接驱动，或使用TAG和 TIC控制器，可以并行和串行通信。入口法兰有DN40NW、ISO63、DN63CF或 ISO100可选。







Edwards全磁悬浮涡轮分子泵STP-iS2207 爱德华分子泵



技术参数：




入口法兰尺寸 VG200/ISO200F/ICF253/ISO250F/VG250/ICF305

前级抽气口尺寸 KF40

抽速 N2/Ar2200/1900 ls-1

压缩比 N2/H2>107

极限压力 10-6 Pa (10-8 Torr)

允许的前级压力 200 Pa

大气流N2 *（仅水冷） 3200 sccm

(5.41 Pam3s-1)

大气流 Ar *（仅水冷） 1000 sccm

(1.69 Pam3s-1)

额定速度 36500 rpm

运转到 90% 额定速度的时间 <

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