背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的
正压质谱检漏真空系统公司
背压法氦质谱检漏
采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。
氦质谱检漏仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：
首先，氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。 第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。 第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。 第四，氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。 第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。 第六，检漏仪的性能不稳定。 第七，氦气纯度不稳定或存在误差。 第八，之后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。
氦质谱检漏仪——背压法检漏的注意事项检漏过程会有以下现象：
1.氦质谱检漏仪只能检测微漏的工件；大漏的工件，在清氦过程，压入内部的氦气就可能泄露出来，在氦检时就检测不到氦气漏出。
2.工件清氦后，放置待检时间不要超过1小时，防止压入的氦气漏出。
3.实验测试时是单独检测工件；批量检测时检漏仪的本底值会成倍的大于单独检测的本底值。
4.批量检测时，发现有漏件，可以逐渐减半的方式，找到具体的漏件。
5.每次检测时，可以空检检漏罐并记录相应的漏率值，做为检测的对比参数。
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