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真空涂层技术领域,特别是涉及一种真空涂层机.本实用新型真空涂层机包括阴极装置,阴极装置包括多个靶材.每个靶材可单独连接一个电弧发生器.本实用新型靶材体积比较小应用了多个电弧发生器,由于采用的靶材体积对应方靶小且有多个电弧发生器单独控制每个圆靶让其均匀挥发所以生产出来的涂层金属颗粒较方靶更小,从而使涂层结构更致密,涂层与被涂
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真空涂层技术领域,特别是涉及一种真空涂层机.本实用新型真空涂层机包括阴极装置,阴极装置包括多个靶材.每个靶材可单独连接一个电弧发生器.本实用新型靶材体积比较小应用了多个电弧发生器,由于采用的靶材体积对应方靶小且有多个电弧发生器单独控制每个圆靶让其均匀挥发所以生产出来的涂层金属颗粒较方靶更小,从而使涂层结构更致密,涂层与被涂层工件结合力好.由于圆靶体积小靶材使用的数量比较多在工艺生产中可以使用不同材质的靶材进行复合涂层和多元化涂层的生产和开发,工艺可变性灵活性大.
探索了造成缺陷的形状和尺寸检测误差的原因,对涂层引起超散的物性参数也进行了反演。首先基于热弹机制原理,应用零差干涉仪检测了涂层影响下长宽尺寸的缺陷信号,构造了两种不同的模型对深度的尺寸进行检测,计算出缺陷深度的大小。其次对造成尺寸误差的原因进行了分析,发现涂层物性参数会引起超声衍射和色散而造成一定程度的尺寸检测误差。
涂层机用调节装置.所述涂层机用调节装置包括两个输送辊,收料罩与调节机构,所述两个输送辊之间形成输送间隙,所述输送间隙用于输送板材,所述收料罩与所述两个输送辊相互间隔设置,所述收料罩上开设有收料槽,所述收料槽对准所述输送间隙,所述调节机构包括笼络架与刮涂板,所述笼络架设置于所述输送间隙与所述收料槽之间,所述刮涂板转动地设置于所述笼络架上,所述刮涂板的边缘形成有刮涂边缘.所述涂层机用调节装置能够使得涂层的厚度较为均匀.
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