实验室气路改造设计有那些要求？
1、为了便于气瓶的更换，气瓶连接器和调节阀之间应设置耐高压金属软管。
2.为了防止整个系统回火，应安装防爆止回阀。
3.气体在进入使用点之前，为了便于控制气体开关，应提供一个使用点球阀。
4.为了保持气体的纯度和管道系统的气密性，所有管道均为316L不锈钢管道，内表面经AP处理。
5.为了便于阀门
气体管道种类
实验室气路改造设计有那些要求？
1、为了便于气瓶的更换，气瓶连接器和调节阀之间应设置耐高压金属软管。
2.为了防止整个系统回火，应安装防爆止回阀。
3.气体在进入使用点之前，为了便于控制气体开关，应提供一个使用点球阀。
4.为了保持气体的纯度和管道系统的气密性，所有管道均为316L不锈钢管道，内表面经AP处理。
5.为了便于阀门部件的维护和更换，管道与阀门部件之间的连接应采用高压双卡套接头连接。
6.管道固定部件(管夹)应由耐高温金属材料制成，并应牢固、轻便和。
7.考虑到坚固、耐腐蚀、使用方便、外形美观等原因，调压阀的控制面板采用不锈钢制成。
8.为了保证气体输出压力的稳定性和气体的纯度，选择了二级减压系统(即采用一级减压系统和二级减压系统，二级减压设备系统自带)。
高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。⑦阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。
注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。
②对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。不仅是给试验操作人员一个良好的工作环境，更加是对试验人员的人身安全的一个保障。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。
气体产品种类繁多，大致可以分为一般工业气体和特种气体两大类。一般工业气体产大，但对纯度要求不高。13、气体管路的支架要求耐腐蚀，可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。特种气体产虽小，但根据不同的用途，对不同特种气体的纯度或组成、有害杂质允许的含量、产品的包装贮运等都有极其严格的要求，属于高技术，高附加值产品。
高纯气体(High Purity Gases)，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，Ar，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；联接时根据气体的性质、压力和温度选用不同的法兰和密封垫片，利用螺栓夹紧垫片保持密封。而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。
特气管道工程
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