真空蒸镀
真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能等优点。
蒸镀的物理过程包括:沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄
金属电镀加工
真空蒸镀
真空蒸镀,简称蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能等优点。
蒸镀的物理过程包括:沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合。将基片放入真空室内,以电阻、电子束、激光等方法加热膜料,使膜料蒸发或升华,气化为具有一定能量(0.1~0.3eV)的粒子(原子、分子或原子团)。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至基片,到达基片表面的粒子一部分被反射,另一部分吸附在基片上并发生表面扩散,沉积原子之间产生二维碰撞,形成簇团,有的可能在表面短时停留后又蒸发。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞,或吸附单粒子,或放出单粒子。此过程反复进行,当聚集的粒子数超过某一临界值时就变为稳定的核,再继续吸附扩散粒子而逐步长大,终通过相邻稳定核的接触、合并,形成连续薄膜。
激光电镀加工是古典工艺与现代技术相结合的一个典型,是一项新兴的高能束流电镀技术。运用激光技术可提高金属沉积速度,效率提高1000倍,当用一种连续激光或脉冲激光照射在电镀池中的阴极表面时,不仅提高了沉积速度,而且可以用计算机控制激光束的运动轨迹而得到预期的复杂几何图形的无屏蔽镀层。
与普通电镀加工相比,其优点是:
(1)沉积速度快,如激光镀金可达1μm/s,激光镀铜可达10μm/s,激光喷射镀金可达12μm/s,激光喷射镀铜可达50μm/s;
(2)金属沉积仅发生在激光照射区域,无需采用屏蔽措施便可得到局部沉积镀层,从而简化了生产电镀加工工艺;
(3)镀层结合力大大提高;
(4)容易实现自动控制;
(5)节约;
(6)节省设备投资和加工时间。
酸铜电镀的好坏直接影响PCB制板电镀铜层的质量和相关机械性能,并对后续加工产生一定影响,因此如何控制好酸铜电镀的质量是PCB电镀中重要的一环,也是很多大厂工艺控制较难的工序之一。
酸铜电镀常见的问题,主要有电镀粗糙和电镀板面铜粒——针对以上问题,进行了一些总结,并进行一些简要分析解决和预防措施。首先先介绍下这两个现象的具体定义。
电镀粗糙:一般板角粗糙,多数是电镀电流偏大所致,可以调低电流并用卡表检查电流显示有无异常;全板粗糙,一般不会出现,但是笔者在客户处也曾遇见过一次,后来查明时当时冬天气温偏低,光剂含量不足;还有有时一些返工褪膜板板面处理不干净也会出现类似状况。
电镀板面铜粒:引起板面铜粒产生的因素较多,从沉铜,图形转移整个过程,PCB制板电镀铜本身都有可能。
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